[实用新型]半导体二极管用圆晶自动裂片机有效

专利信息
申请号: 202120677180.2 申请日: 2021-04-02
公开(公告)号: CN214313169U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 王明涛;宋波 申请(专利权)人: 淄博晨启电子有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 耿媛媛
地址: 255000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 半导体 二极 管用 自动 裂片
【说明书】:

本实用新型涉及圆晶自动裂片机技术领域,尤其是半导体二极管用圆晶自动裂片机,包括圆晶自动裂片机本体,所述圆晶自动裂片机本体的顶部通过螺钉安装有步进电机,所述步进电机位于圆晶自动裂片机本体的晶元放置平台的一侧,所述步进电机的活动端通过螺钉安装有步进电机的活动端竖直向上。本实用新型通过设置微型真空泵、伸缩软管、快速接头、外螺管、内螺纹管和真空吸盘,在真空吸盘的底部与裂片的顶部接触后,即可操控微型真空泵,微型真空泵通电后工作,用于将真空吸盘和裂片之间的空气抽出,真空吸盘和裂片之间存在真空状态,使得真空吸盘和裂片之间连接稳定,方便了裂片的运输。

技术领域

本实用新型涉及圆晶自动裂片机技术领域,尤其涉及半导体二极管用圆晶自动裂片机。

背景技术

半导体二极管在通过圆晶自动裂片机进行加工时,晶元放置在晶元放置平台的顶部后进行裂片处理,在将晶元裂片完成后,还需将裂片从晶元放置平台上取出,现有技术中,通常采用人工手动将裂片从晶元放置平台上取出,由于人力拿取裂片时,容易对裂片上的晶粒造成损坏,这样会不利于裂片的使用,而且损坏的裂片还会增加了生产的成本。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的半导体二极管用圆晶自动裂片机。

为达到以上目的,本实用新型采用的技术方案为:半导体二极管用圆晶自动裂片机,包括圆晶自动裂片机本体,所述圆晶自动裂片机本体的顶部通过螺钉安装有步进电机,所述步进电机位于圆晶自动裂片机本体的晶元放置平台的一侧,所述步进电机的活动端通过螺钉安装有步进电机的活动端竖直向上,所述步进电机的活动端通过螺钉安装有支撑板,所述支撑板的顶部通过驱动机构安装有安装块,所述安装块的侧面通过螺钉安装有内螺纹管,所述内螺纹管的底端内部螺纹安装有外螺管,所述外螺管的底端粘接有真空吸盘,所述真空吸盘和外螺管之间连通设置,所述内螺纹管的顶端紧配安装有快速接口,所述快速接口的一端紧配安装有伸缩软管,所述支撑板的顶部通过螺钉安装有微型真空泵,所述伸缩软管的一端与微型真空泵的进气口连接,所述支撑板和圆晶自动裂片机本体之间连接有限位机构。

优选,所述真空吸盘的底部粘接有橡胶密封圈,所述橡胶密封圈的侧边沿着真空吸盘的侧边排列。

优选,所述驱动机构包括第二电动推杆,所述第二电动推杆通过螺钉安装在支撑板的顶部,所述第二电动推杆的活动端延伸至支撑板的一侧,所述第二电动推杆的活动端通过螺钉安装有安装板,所述安装板的侧面通过螺钉安装有第一电动推杆,所述安装块的表面通过螺钉安装在第一电动推杆的活动端,所述第一电动推杆和第二电动推杆相互垂直排列。

优选,所述限位机构包括圆环件,所述圆环件通过螺钉固定套设在支撑板的侧面,所述圆环件的底部开设有滑槽,所述滑槽呈圆形,所述滑槽的内部滑动安放有万向滚珠,所述万向滚珠的表面粘接有支撑杆,所述支撑杆的一端通过螺钉安装有底板,所述底板通过螺钉安装在圆晶自动裂片机本体的顶部。

优选的,所述圆晶自动裂片机本体的侧面通过螺钉安装有PLC控制器,所述PLC控制器通过导线分别与第一电动推杆、第二电动推杆、步进电机和微型真空泵连接。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:

本实用新型通过设置微型真空泵、伸缩软管、快速接头、外螺管、内螺纹管和真空吸盘,在真空吸盘的底部与裂片的顶部接触后,即可操控微型真空泵,微型真空泵通电后工作,用于将真空吸盘和裂片之间的空气抽出,真空吸盘和裂片之间存在真空状态,使得真空吸盘和裂片之间连接稳定,方便了裂片的运输;

本实用新型通过设置步进电机,用于带动真空吸盘在水平位置上转动,便于将裂片从晶元放置平台上取出并放置在存储容器中后,随即停止微型真空泵供电,此时真空吸盘和裂片之间的真空状态逐渐消失,而真空吸盘从裂片上取出后,用于完成裂片的取出和存放,提高了操作的连接线。

附图说明

图1为本实用新型的半导体二极管用圆晶自动裂片机的第一轴测图;

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