[实用新型]一种单晶硅外延片检测输送的推片机有效

专利信息
申请号: 202120666829.0 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN214411157U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 吴勇 申请(专利权)人: 四川雅吉芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 代理人: 高炜丽
地址: 625000 四川省雅安市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 外延 检测 输送 推片机
【权利要求书】:

1.一种单晶硅外延片检测输送的推片机,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有滑轮(2),所述底板(1)的顶部活动连接有螺纹杆(3),所述螺纹杆(3)的一端固定连接有支撑块(4),所述支撑块(4)的底部固定连接有防滑垫(5),所述底板(1)的顶部固定连接有箱体(6),所述箱体(6)的内顶壁固定连接有隔板(7),所述箱体(6)的顶部固定连接有工作台(8),所述工作台(8)的顶部固定连接有固定板(9),所述固定板(9)的顶部开设有活动槽(10);

所述固定板(9)的顶部固定连接有连接板(11),所述连接板(11)的一侧固定连接有放置框(12),所述固定板(9)的顶部固定连接有挡板(13),所述挡板(13)的一侧固定连接有侧板(14),所述侧板(14)的一侧固定连接有电推杆(15),所述电推杆(15)的一端固定连接有推拉板(16),所述推拉板(16)的一侧固定连接有防护垫(17),所述箱体(6)的正面活动连接有箱门(18)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述箱门(18)的正面固定连接有把手(19),且把手(19)的外壁固定连接有防滑布。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述箱门(18)的正面开设有观察槽,且观察槽的内壁固定连接有观察玻璃(20)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述螺纹杆(3)的数量为四个,且每两个螺纹杆(3)为一组,且两组螺纹杆(3)以底板(1)的中垂线为对称轴对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述侧板(14)的一侧开设有通孔,且通孔的形状大小与电推杆(15)的形状大小均相互匹配。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述底板(1)的顶部开设有螺纹孔,且螺纹孔的形状大小与螺纹杆(3)的形状大小均相互匹配。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述防护垫(17)的形状大小与推拉板(16)的形状大小均相同,且防护垫(17)为橡胶防护垫。

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