[实用新型]一种单晶硅外延片检测输送的推片机有效
申请号: | 202120666829.0 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN214411157U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 吴勇 | 申请(专利权)人: | 四川雅吉芯电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 | 代理人: | 高炜丽 |
地址: | 625000 四川省雅安市*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 外延 检测 输送 推片机 | ||
1.一种单晶硅外延片检测输送的推片机,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有滑轮(2),所述底板(1)的顶部活动连接有螺纹杆(3),所述螺纹杆(3)的一端固定连接有支撑块(4),所述支撑块(4)的底部固定连接有防滑垫(5),所述底板(1)的顶部固定连接有箱体(6),所述箱体(6)的内顶壁固定连接有隔板(7),所述箱体(6)的顶部固定连接有工作台(8),所述工作台(8)的顶部固定连接有固定板(9),所述固定板(9)的顶部开设有活动槽(10);
所述固定板(9)的顶部固定连接有连接板(11),所述连接板(11)的一侧固定连接有放置框(12),所述固定板(9)的顶部固定连接有挡板(13),所述挡板(13)的一侧固定连接有侧板(14),所述侧板(14)的一侧固定连接有电推杆(15),所述电推杆(15)的一端固定连接有推拉板(16),所述推拉板(16)的一侧固定连接有防护垫(17),所述箱体(6)的正面活动连接有箱门(18)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述箱门(18)的正面固定连接有把手(19),且把手(19)的外壁固定连接有防滑布。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述箱门(18)的正面开设有观察槽,且观察槽的内壁固定连接有观察玻璃(20)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述螺纹杆(3)的数量为四个,且每两个螺纹杆(3)为一组,且两组螺纹杆(3)以底板(1)的中垂线为对称轴对称设置。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述侧板(14)的一侧开设有通孔,且通孔的形状大小与电推杆(15)的形状大小均相互匹配。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述底板(1)的顶部开设有螺纹孔,且螺纹孔的形状大小与螺纹杆(3)的形状大小均相互匹配。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅外延片检测输送的推片机,其特征在于:所述防护垫(17)的形状大小与推拉板(16)的形状大小均相同,且防护垫(17)为橡胶防护垫。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川雅吉芯电子科技有限公司,未经四川雅吉芯电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120666829.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种发电机定子磁瓦定位结构
- 下一篇:一种红外检测装置和机器人
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造