[实用新型]一种制备高纯磷的装置有效
| 申请号: | 202120660248.6 | 申请日: | 2021-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN215048682U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
| 发明(设计)人: | 白平平;乐卫华;朱刘 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C01B25/02 | 分类号: | C01B25/02 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 韩静粉 |
| 地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制备 高纯 装置 | ||
1.一种制备高纯磷的装置,其特征在于,包括进料管、反应管和收集管;
所述进料管包括三氯化磷进料管、氢气进料管和氮气进料管,所述三氯化磷进料管和所述氮气进料管的出口导通连接,并通至所述反应管内,所述氢气进料管的出口与所述反应管的入口导通连接;
所述三氯化磷进料管用于输入液态三氯化磷,所述氮气进料管用于输入氮气,所述氢气进料管用于在所述装置发生反应前,通入氮气置换所述装置内的空气,并通入氢气与在所述反应管内气化的三氯化磷进行反应;
沿着所述反应管的入口到所述反应管的出口的方向,所述反应管内设置有至少1个反应孔板;
所述反应管的出口与所述收集管的入口导通连接,所述收集管的出口处设置有注入纯水的进水口。
2.根据权利要求1所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述制备高纯磷的装置还包括加热器;
所述加热器围设在所述反应管的管壁外,用于加热所述反应管。
3.根据权利要求2所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述加热器为卧式电阻丝加热炉;
沿着所述反应管的入口导所述反应管的出口方向,所述加热器分为第一独立加热区、第二独立加热区和第三独立加热区,所述第一独立加热区的加热温度和所述第二独立加热区的加热温度均大于所述第三独立加热区的温度。
4.根据权利要求1所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述收集管为U型收集管,且所述收集管的入口与所述反应管的出口通过弯头导通连接,且所述收集管位于所述反应管的下方。
5.根据权利要求4所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述制备高纯磷的装置还包括加热组件;
所述加热组件包覆所述收集管和所述弯头。
6.根据权利要求5所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述加热组件包括加热元件、热电偶和温控系统;
所述加热元件分别包覆在所述收集管和所述弯头外,所述热电偶分别安装在所述收集管和所述弯头外,用于测量所述收集管和所述弯头的温度,所述热电偶及所述加热元件均与所述温控系统信号连接。
7.根据权利要求4所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述制备高纯磷的装置还包括锥形管;
所述锥形管分别竖直安装在所述收集管的两个竖直管内,且沿着从上到下的方向,所述锥形管的直径逐渐减小。
8.根据权利要求7所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述锥形管通过环形片安装在所述收集管的竖直管内。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,还包括尾气吸收装置;
所述尾气吸收装置的入口与所述收集管的出口导通连接,所述尾气吸收装置用于吸收尾气。
10.根据权利要求9所述的制备高纯磷的装置,其特征在于,所述尾气吸收装置包括吸收釜、进气管道和出气管道;
所述进气管道设置在所述吸收釜上,且所述进气管道的一端通过所述收集管出口处连接的连接管与所述收集管的出口导通连接,所述进气管道的另一端延伸到所述吸收釜内盛放的吸收液内,所述出气管道导通设置在所述吸收釜的顶端。
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