[实用新型]一种废气回收结构有效

专利信息
申请号: 202120643169.4 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN214767706U 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 侯峰;蔡奇陵 申请(专利权)人: 长园半导体设备(珠海)有限公司
主分类号: B08B15/04 分类号: B08B15/04
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 王贤义
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 废气 回收 结构
【权利要求书】:

1.一种废气回收结构,其特征在于:它包括连接块(1)和真空集气管(2),所述真空集气管(2)通过所述连接块(1)固定在电浆设备的输出口处,所述真空集气管(2)内设置有环状流道(2a),所述真空集气管(2)的侧壁上设有与外部真空发生器连通的连接接口(2b),所述连接接口(2b)与所述环状流道(2a)连通,所述环状流道(2a)的下端设有环形进气口。

2.根据权利要求1所述的一种废气回收结构,其特征在于:所述真空集气管(2)包括外管壁(2c)和内管壁(2d),所述外管壁(2c)的长度大于所述内管壁(2d)的长度,所述外管壁(2c)和所述内管壁(2d)的顶部通过环片(2e)连接为一体,所述外管壁(2c)、所述环片(2e)以及所述内管壁(2d)相配合形成所述环状流道(2a),所述连接接口(2b)设置在所述外管壁(2c)上。

3.根据权利要求2所述的一种废气回收结构,其特征在于:电浆设备进入所述真空集气管(2)中的长度小于所述内管壁(2d)的长度。

4.根据权利要求1所述的一种废气回收结构,其特征在于:所述连接块(1)包括第一安装件(1a)和第二安装件(1b),所述第一安装件(1a)通过螺丝与所述真空集气管(2)连接固定,所述第二安装件(1b)通过螺栓与所述第一安装件(1a)固定连接,所述第一安装件(1a)和所述第二安装件(1b)上均设有与电浆设备相适配弧形夹槽(1c),所述第一安装件(1a)与所述第二安装件(1b)配合夹紧固定在电浆设备上。

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