[实用新型]一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构

说明书

本实用新型公开了一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，设有至少两个等离子处理腔体、送料区和转接区，台车推入或拉出等离子处理腔体；输送腔体内设有抬升或下降台车的升降机。等离子处理单槽台车的输送系统利用升降机、滚珠滑轨和输送滚轮台的配合，解决现阶段等离子处理全自动输送系统中存在的由于水平输送和垂直输送之间输送机构导致的输送干涉问题，同时可以让台车和升降台之间能够实现自由分离，在台车处于等待期间，升降台可以继续上升或下降，缩短基板处理时台车的等待时间，提高等离子处理系统整体的处理效率。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构。

背景技术

当前业界普遍使用的等离子体处理设备为单腔多片处理系统，需要人工干预上下料，我们了解等离子处理基板的上板程序是等离子处理流程中重要程序，而且有着严格的工艺要求。在进行上板工艺处理时，因为设备的限制，往往需要人力将每一块基板定位安装到台车上，然后将上了基板的台车人工送至等离子处理系统中进行加工处理。这种单腔体处理系统，需要工作人员比较多，基本要需要一个员工负责一台台车的上板工作，还需要一个员工负责接送等离子处理腔体内的基板，需要支付的人工费用比较多，工作效率低下。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，能够配合现有的单槽台车上下料系统使用，实现等离子处理基板的全程输料的自动化操作。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，设有至少两个等离子处理腔体，每个等离子处理腔体的前端对应设有上下两层输送腔体组成的送料区，每个输送腔体内可容置至少一辆台车，所述两个送料区之间设有供台车转接的转接区，所述转接区同样由上下两层输送腔体组成，所述等离子处理腔体设置在送料区的上层输送腔体后方，由上层输送腔体内的台车推入或拉出等离子处理腔体；所述上下两层输送腔体内设有抬升或下降台车的升降机，所述多个上层输送腔体部分的两侧设有连接的输送台车滚珠滑轨，所述多个下层输送腔体的底部设有连接的输送台车输送滚轮台。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降机上升到上层输送腔体时位于两侧滚珠滑轨的中间，所述升降下降到下层输送腔体时，输送滚轮台内设有供升降机容置的腔体。

作为本实用新型的进一步改进，所述台车通过滑轨设置于转接板上，转接板的两侧通过滑动卡销卡入两侧的滚珠滑轨滑动。

作为本实用新型的进一步改进，所述滚珠滑轨的上方设有传动定位销，传动定位销固定在沿滑轨方向传动的皮带传动装置上，通过传动定位销卡入转接板两侧的定位销孔连接转接板，并带动转接板沿滚珠滑轨方向滑动。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理单槽台车的输送系统利用升降机、滚珠滑轨和输送滚轮台的配合，解决现阶段等离子处理全自动输送系统中存在的由于水平输送和垂直输送之间输送机构导致的输送干涉问题，同时可以让台车和升降台之间能够实现自由分离，在台车处于等待期间，升降台可以继续上升或下降，缩短基板处理时台车的等待时间，提高等离子处理系统整体的处理效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1的侧视图；

图中标示：1-等离子处理腔体；2-输送腔体；3-送料区；4-台车；5-转接区；6-升降机；7-滚珠滑轨；8-输送滚轮台；9-转接板；10-传动定位销；11-皮带传动装置。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。