[实用新型]一种等离子处理单槽台车定位装置

说明书

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在台车上方机架的单槽台车，单槽台车的底部设有滑轮，对应的台车上端设有滑轨，单槽台车的顶部设置若干定位孔，上方设有拉板，拉板下端面设置若干与定位孔对应的定位销，定位销插入定位孔固定单槽台车，拉板的一侧设有控制拉板上下活动的拉板抬升装置，拉板抬升装置通过气缸控制勾杆勾住拉板后通过滑轨一起向上运动，松开定位销，单槽台车在外力的作用下进入等离子真空腔体，后气缸关闭，在弹簧的作用的，勾杆和拉板在复位弹簧的作用下回复原位，而此时基板在真空腔体内确保不会碰触到电极板，避免在操作过程中造成电极板损坏，降低由于人工操作过程中对电极板造成的损失。

技术领域

本实用新型涉及等离子体对材料的处理领域，更具体地，涉及到一种等离子处理单槽台车定位装置。

背景技术

等离子体处理流程非常复杂，而且每一步有着严格的工艺要求。因为设备的限制，往往需要人力将需要处理的基板安装在台车上，再将装满基板的台车人工定位，而后送至等离子处理系统中进行加工处理。这种定位方式，需要工作人员比较多，基本要需要一个员工负责一台台车的定位工作，而且很难控制所有满基板同时进入等离子处理系统中进行加工处理，在操作过程中容易造成基板偏离位置，在推入等离子真空处理腔体时碰撞电极板，造成电极板的损伤，从而增加了加工成本。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子处理单槽台车定位装置，提前对进入等离子腔体处理的基板进行定位，减少由于基板位置偏移对电极造成的损害。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在转接板上方机架的单槽台车，单槽台车的底部设有滑轮，对应的转接板上端设有滑轨，所述单槽台车的顶部设置若干定位孔，单槽台车的上方设有只能上下活动的拉板，拉板下端面设置若干与定位孔对应的定位销，定位销插入定位孔固定单槽台车，所述拉板的一侧设有控制拉板上下活动的拉板抬升装置，所述拉板抬升装置固定于转接板上方机架上。

作为本实用新型的进一步改进，所述拉板抬升装置由气缸、勾杆、弹簧、滑块和滑轨组成，所述勾杆中间转动固定在滑块上，滑块沿着滑轨上下滑动，勾杆的勾子端转动后勾住拉板，勾杆的尾端连接气缸，在气缸的作用下，勾杆勾住拉板并向上抬升，弹簧连接勾杆和滑块顶部，在气缸作用结束后使得勾杆回复原位。

作为本实用新型的进一步改进，所述拉板的侧面设有限制拉板水平方向位移的限位板，所述拉板的上端面与限位板的顶部之间设有复位弹簧，拉板在复位弹簧作用下回复原位。

作为本实用新型的进一步改进，所述滑轨的下端设有止动螺丝，用于限制滑块下滑的位移。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理单槽台车定位装置有以下优点：通过气缸控制勾杆控制机构向上运动，勾杆勾住拉板后通过滑轨一起向上运动，达到松开定位销的作用，此时可以将装满若干需要等离子处理基板的台车放在指定的位置，然后勾杆控制机构向下运动，勾子放开拉板，在复位弹簧的作用下，拉板上的定位销迅速的复位，起到定位的作用，在基板送入等离子真空腔体保证基板不会碰触到真空腔体内的电极板，避免在操作过程中造成电极板损坏，降低由于人工操作过程中对电极板造成的损失。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构侧视图；

图3位图2中A部放大示意图

图中标示：1-转接板，2-机架，3-单槽台车，4-滑轮，5-滑轨，6-定位孔，7-拉板，8-定位销，9-气缸；10-勾杆；11-弹簧；12-滑块；13-滑轨；14-限位板；15-复位弹簧；16-止动螺丝。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。