[实用新型]一种剥离液回收处理冷凝装置有效
申请号: | 202120633939.7 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN214406659U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 倪进娟;鲍大利;孙志龙 | 申请(专利权)人: | 合肥茂腾环保科技有限公司 |
主分类号: | F25D16/00 | 分类号: | F25D16/00;F28D7/02 |
代理公司: | 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 | 代理人: | 王金良 |
地址: | 230000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 剥离 回收 处理 冷凝 装置 | ||
本实用新型公开了一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱,冷凝水箱的顶部贯穿有入液管,本实用新型涉及剥离液回收技术领域。该剥离液回收处理冷凝装置,通过在水泵抽取冷凝水箱内的液体,送入制冷机内制冷后重新输入冷凝水箱,从而保持了冷凝水箱内的冷凝温度,并且通过水循环而不是直接排放,降低了设备的使用成本,回收的剥离液通过入液管进入螺旋管,由于螺旋管位于冷凝水箱,回收剥离液内的热量被冷凝水箱内的水液吸收,并且通过驱动电机转动带动螺旋管转动,螺旋管转动避免了螺旋管附近的水液吸收的热量多,远离螺旋管附近的水液吸收的热量少,导致的后续冷凝效果不理想的情况发生,提高了冷凝质量。
技术领域
本实用新型涉及剥离液回收技术领域,具体为一种剥离液回收处理冷凝装置。
背景技术
因为在印刷电路板、液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中,需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序,在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路,而当微电路形成后,就需要使用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去,现有的剥离液回收时由于废弃剥离液温度较高,需要对其进行冷却,为此,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱,所述冷凝水箱的顶部贯穿有入液管,且入液管的底端延伸至冷凝水箱的内部,所述入液管的底端连通有螺旋管,且螺旋管远离入液管的一端连通有出液管,所述出液管的底端延伸至冷凝水箱的外部,所述螺旋管的外周固定连接有第一齿轮,且冷凝水箱的底部固定连接有L形搭载板,所述L形搭载板的顶部固定连接有驱动电机,且驱动电机输出轴的顶端延伸至冷凝水箱的内部,所述驱动电机输出轴的顶端固定连接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮,所述冷凝水箱的外周固定连接有支撑架,且支撑架的顶部固定连接有水泵,所述冷凝水箱的右侧安装有制冷机。
优选的,所述水泵抽水口与冷凝水箱的右侧之间通过连接管相连通,且水泵抽出水口与制冷机的顶部之间通过连接管相连通,所述制冷机的底部与冷凝水箱的右侧之间通过连接管相连通。
优选的,所述入液管的外周与冷凝水箱的贯穿处为固定连接,且出液管的外周与冷凝水箱的贯穿处为固定连接,所述驱动电机输出轴的外周与冷凝水箱的贯穿处为转动连接。
优选的,所述入液管与螺旋管的连接处通过转轴转动连接,且螺旋管与出液管的连接处通过转轴转动连接。
有益效果
本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置。与现有技术相比具备以下有益效果:
该剥离液回收处理冷凝装置,通过在水泵抽取冷凝水箱内的液体,送入制冷机内制冷后重新输入冷凝水箱,从而保持了冷凝水箱内的冷凝温度,并且通过水循环而不是直接排放,降低了设备的使用成本,回收的剥离液通过入液管进入螺旋管,由于螺旋管位于冷凝水箱,回收剥离液内的热量被冷凝水箱内的水液吸收,并且通过驱动电机转动带动螺旋管转动,螺旋管转动避免了螺旋管附近的水液吸收的热量多,远离螺旋管附近的水液吸收的热量少,导致的后续冷凝效果不理想的情况发生,提高了冷凝质量。
附图说明
图1为本实用新型的主视图;
图2为本实用新型图1中A处的局部放大图。
图中:1、冷凝水箱;2、入液管;3、螺旋管;4、出液管;5、第一齿轮;6、L形搭载板;7、驱动电机;8、第二齿轮;9、支撑架;10、水泵;11、制冷机。
具体实施方式
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