[实用新型]一种用于镀膜设备的辅助支架

说明书

本实用新型涉及光伏组件生产技术领域，特别涉及一种用于镀膜设备的辅助支架。该镀膜设备内设有第一目标部件、第二目标部件；该镀膜设备内配接辅助支架，该辅助支架上设有独立支撑第一目标部件及第二目标部件的第一支撑组件与第二支撑组件，第一支撑组件与第二支撑组件为可伸缩的活动式组件。本实用新型提供的用于镀膜设备的辅助支架，通过设置与镀膜设备匹配的用于镀膜设备的辅助支架，可用于在进行安装、拆卸等维护工作中将目标部件特别是辅助加热管和热电偶这一脆性易折断的石英制品进行支撑，以避免目标部件在维护过程中受到不必要的损伤或损坏，以降低维护成本，缩短维护时间，提高设备利用率，最终提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及光伏组件生产技术领域，特别涉及一种用于镀膜设备的辅助支架。

背景技术

镀膜设备（如等离子体化学气相沉积设备）使用的炉管直径不断增大，炉管长度不断加长，在此基础上，为保证工艺效果及产品品质，在炉管内增加辅助加热管及热电偶尺寸也逐渐增大，如：辅助加热管长3.2m，直径3.4cm，热电偶长3.4m，直径2cm。

辅助加热管安装在前法兰上，热电偶装在泵管连接面上，当前法兰密封圈老化漏气（密封圈的寿命为1年左右）需要更换新的法兰密封圈时，需将辅助加热管和热电偶取出。由于辅助加热管及热电偶长时间处在高温低压环境下，石英老化变脆，中间又没有支撑点，取出辅助加热套管或热电偶时都容易折断，且折断率90%以上。

因此，在更换前法兰密封圈时带来的辅助加热管及热电偶折断的事故不仅增大维修成本，还延长了维修时间。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题提供了一种用于镀膜设备的辅助支架，能有效避免在更换镀膜设备零部件时零部件发生脆性折断现象。

本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，该镀膜设备内设有第一目标部件、第二目标部件；该镀膜设备内配接辅助支架，该辅助支架上设有独立支撑第一目标部件及第二目标部件的第一支撑组件与第二支撑组件，第一支撑组件与第二支撑组件为可伸缩的活动式组件。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述的辅助支架包括平台，支架腿；所述的支架腿至少为四个，四个所述的支架腿用于支撑平台，平台上的第一支撑组件垂直于水平面为上、下伸缩式活动；平台上的第二支撑组件平行于水平面为左、右伸缩式活动。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述的支架腿由第三导向件、第三支撑件组成；所述的第三导向件内为空心槽结构，第三支撑件活动配接于第三导向件的空心槽结构内，所述的第三支撑件与所述第三导向件相对运动以调节所述支架腿的长度。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述的第一支撑组件由第一导向件、第一支撑件组成；所述的第一导向件内为空心槽结构，第一支撑件活动配接于第一导向件的空心槽结构内，所述的第一支撑件与所述的第一导向件相对运动；所述的第一支撑件用于支撑第一目标部件；

所述的第二支撑组件由第二导向件及第二支撑件组成；所述的第二导向件内为空心槽结构，第二支撑件活动配接于第二导向件的空心槽结构内，所述的第二支撑件与所述的第二导向件相对运动；所述的第二支撑件用于支撑第二目标部件。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述的第一支撑组件还包括至少一个定位件，所述的定位件穿过所述第一导向件并与所述的第一支撑件卡嵌配合，以对所述的第一支撑件定位。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述第二支撑组件还包括至少一个定位件，所述定位件穿过所述第二导向件并与所述第二支撑件卡嵌配合，以对所述第二支撑件定位。

本实用新型所述的用于镀膜设备的辅助支架，所述的二支撑组件中的第二支撑件的支撑端设有用于支撑第二目标部件的延伸平台。