[实用新型]一种碳化硅单晶炉顶部测温结构有效
| 申请号： | 202120615808.6 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN214327970U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周洁;程绪高;周正星 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;F27D21/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 炉顶 测温 结构 | ||
1.一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：包括设于炉盖上方的红外高温计、连通在所述炉盖上方的且内部开设有测温腔的第一主体、设于所述第一主体顶部的玻璃板、开设于所述第一主体侧部的进气口；
所述红外高温计位于所述玻璃板正上方，所述进气口位于所述玻璃板和所述炉盖之间；
所述进气口，用于在进气的同时吹扫所述玻璃板下表面。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述进气口的出气方向倾斜朝向所述玻璃板或垂直朝向所述玻璃板。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述炉盖上开设有位于所述第一主体底部的且与所述测温腔连通的连通口。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述玻璃板和所述红外高温计均位于所述连通口的正上方。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述测温结构还包括设于所述炉盖和所述红外高温计之间的连接组件。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述连接组件包括纵向延伸的且底部连接在所述炉盖上的第一连接杆、横向延伸的且一端连接在所述第一连接杆顶部的第二连接杆，所述红外高温计设于所述第二连接杆另一端。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述测温结构还包括用于将所述玻璃板固定的罩设于所述第一主体顶部的法兰连接件。
8.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，其特征在于：所述测温结构还包括与所述进气口连通的且外凸于所述第一主体侧部的进气管。
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