[实用新型]一种非连续基底结构声表面波滤波器

权利要求书

1.一种非连续基底结构声表面波滤波器，包括以下结构：

1)衬底层；

2)设置在所述衬底层上的压电薄膜层和其中包含的声阻抗非连续层；

3)设置在所述压电薄膜层上的叉指换能器。

2.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述衬底层为硅、锗、砷化镓、碳化硅、蓝宝石、氮化镓或氮化铝。

3.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述压电薄膜层为AlN压电薄膜。

4.根据权利要求3所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述AlN压电薄膜的厚度为100nm-10um。

5.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述声阻抗非连续层为中空结构。

6.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述声阻抗非连续层所在区域为均匀结构、渐变性结构或者周期性变化结构。

7.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述声阻抗非连续层为单层或多层结构。

8.根据权利要求1所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器的电极材料为电极层的材料，包括Al、Pt、Ti、Au、Mo或者W。

9.根据权利要求8所述的非连续基底结构声表面波滤波器，其特征在于，所述电极层厚度为30nm-2um。