[实用新型]上下料机构和烘干固化炉装置

说明书

本实用新型提供了一种上下料机构和烘干固化炉装置，上下料机构包括：支撑框架；伸缩平台，设置在支撑框架上，伸缩平台能够在支撑框架上伸缩滑动；运送装置，部分设置在伸缩平台上。本实用新型的技术方案中，当伸缩平台从支撑框架伸出到预设位置时，使得运送装置部分与工件的下端接触，这样确保运送装置工作时能够将工件从花篮中取出或者能够将工件装入花篮中，从而满足花篮的上下料要求，进而确保烘干固化炉装置能够正常地工作。

技术领域

本实用新型涉及烘干固化炉装置设备技术领域，具体而言，涉及一种上下料机构和烘干固化炉装置。

背景技术

目前，相关技术中的烘干固化炉装置设备的花篮用于装载硅片，装载好硅片的花篮传送至烘干固化炉装置的炉体装置进行烘干作业，烘干作业完成后，需要将花篮上已烘干的硅片卸除，再重新装载需要烘干的硅片。为了提高花篮装载或者卸除硅片的便利性，需要开发一种设备以满足花篮的上下料要求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提供一种上下料机构。

本实用新型的另一个目的在于提供一种烘干固化炉装置。

为了实现上述目的，本实用新型的实施例提供了一种上下料机构，上下料机构包括：支撑框架；伸缩平台，设置在支撑框架上，伸缩平台能够在支撑框架上伸缩滑动；运送装置，部分设置在伸缩平台上。

在该技术方案中，当伸缩平台从支撑框架伸出到预设位置时，使得运送装置部分与工件的下端接触，这样确保运送装置工作时能够将工件从花篮中取出或者能够将工件装入花篮中，从而满足花篮的上下料要求，进而确保烘干固化炉装置能够正常地工作。

另外，本实用新型提供的上述实施例中的上下料机构还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，上下料机构还包括：花篮，用于承载工件；驱动装置，用于驱动花篮沿第一方向运动，运送装置用于将工件运送至花篮中。

在该技术方案中，花篮作为一个载体，能够承载工件，同时能够在驱动装置和运送装置的传送作用下将工件传送到预设的位置，进而满足设备的传送要求。

在上述任一技术方案中中，上下料机构还包括固定平台，固定平台设置在支撑框架上，且与伸缩平台对应设置。

在该技术方案中，当伸缩平台从支撑框架缩回到初始位置时，固定平台与伸缩平台对接，固定平台用于承接伸缩平台上传送的硅片并将其转出上下料机构，从而方便其开展下一道工序。或者，固定平台用于将外部的硅片转送至伸缩平台，从而方便伸缩平台将该硅片装载到花篮内。

在上述任一技术方案中，运送装置包括传动轮组和传动皮带，传动皮带设置在传动轮组上。

在该技术方案中，传动轮组作为传动件用于带动传动皮带在支撑框架上滑动，由于传动皮带与工件的底部接触，在传动皮带与工件之间的摩擦力的作用下，工件随传动皮带一起运动，从而实现了运送装置的运送功能。

在上述任一技术方案中，支撑框架包括前支撑架和后支撑架，运送装置包括两组传动轮组，两组传动轮组分别设置在前支撑架和后支撑架上。

在该技术方案中，两组传动轮组同时工作，这样使得设置在两组传动轮组上的传动皮带同步滑动，这样增加了传动皮带与工件的接触面积，从而增加了传动皮带与工件之间的摩擦力，进而确保工件能够随传动皮带一起运动，提高了运送装置运送的稳定性。

在上述任一技术方案中，传动皮带部分设置在伸缩平台和固定平台上，传动皮带能够在伸缩平台和固定平台上滑动。

在该技术方案中，伸缩平台和固定平台具有支撑作用，能够支撑传动皮带和工件，从而确保运送装置能够正常地运送工件，进而满足硅片的运送要求。