[实用新型]基于等离子体发射光谱的微量氮分析仪

权利要求书

1.一种基于等离子体发射光谱的微量氮分析仪，其特征在于，包括：支撑座、电离腔体、驱动模块、驱动电极、滤光片和接收模块；

所述支撑座具有凹槽，所述电离腔体安装在所述支撑座的凹槽内；

所述电离腔体为两端开口的中空结构，所述凹槽的两端侧壁上分别开设有进气通道和出气通道；

所述电离腔体的两端分别设置在所述进气通道和所述出气通道中，并与所述进气通道和所述出气通道连通，以使被测气体通过所述进气通道进入所述电离腔体，并在所述电离腔体内被电离后由所述出气通道排出；

所述驱动电极安装在所述电离腔体的外侧壁上，并与所述驱动模块电连接，用于在所述驱动模块的驱动下产生电场；

所述滤光片和所述接收模块均安装在所述支撑座上，所述滤光片位于所述出气通道的旁侧，并朝向所述电离腔体的开口；

所述接收模块位于所述滤光片的后端，用于接收所述滤光片滤光后的光信号，并将所述光信号转换为电信号。

2.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，还包括流量控制器；所述流量控制器位于所述支撑座的旁侧，并设置在与所述支撑座的进气通道相连接的气体管路上，用于对通过所述进气通道流入所述电离腔体的被测气体的流量进行控制。

3.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述电离腔体通过多块绝缘板依次连接，形成中空结构的腔体实现。

4.根据权利要求3所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述绝缘板的个数为四块，四块所述绝缘板依次粘接，形成两端开口的中空结构。

5.根据权利要求1至4任一项所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述驱动电极设置在所述电离腔体的上表面和下表面。

6.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述滤光片为紫外窄带滤光片。

7.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述支撑座呈U型结构；所述电离腔体横向安装在所述支撑座的U型凹槽内；

所述进气通道和所述出气通道分别开设在所述支撑座的两端U型侧壁内；

其中，所述进气通道与所述电离腔体同轴设置，所述出气通道呈L型，所述出气通道的出气口朝下设置；

所述滤光片位于所述出气通道的旁侧，且所述出气通道与所述滤光片相邻的侧壁为通孔设置。

8.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述电离腔体的材质为玻璃或陶瓷中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述驱动电极为导电片；

所述导电片粘贴在所述电离腔体的外侧壁上。

10.根据权利要求9所述的微量氮分析仪，其特征在于，所述驱动电极为铜圆片。