[实用新型]一种溅镀空间可调的溅镀机

权利要求书

1.一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：包括溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：所述溅镀仓的底部连接有箱体，所述驱动机构位于所述箱体内，所述驱动机构包括横向设于所述箱体内的螺纹杆，所述螺纹杆的两端可转动连接在箱体的内壁上，所述螺纹杆连接有伺服电机，所述箱体内可转动连接有两个与所述螺纹杆啮合的齿轮，两个所述齿轮关于所述支撑杆对称，所述齿轮的上方可转动连接有与之啮合的端面齿轮，所述端面齿轮的上端面连接有转轴，所述转轴的顶端通过万向接头连接有套筒的一端，所述套筒的内壁设有螺纹，所述套筒内连接有与之匹配的丝杆，所述丝杆靠近所述支撑杆的一端通过销轴可转动连接所述支撑杆的底端。

3.根据权利要求1所述的一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：所述通孔的周面与所述支撑杆的周面之间连接有绝缘密封垫圈，所述绝缘密封垫圈固定在所述通孔的周面上。

4.根据权利要求1所述的一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：所述溅镀仓的顶部连接有储气罐，所述储气罐通过输气泵与所述溅镀气体入口连接。

5.根据权利要求1所述的一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：所述排气口连接有抽真空泵，所述抽真空泵通过支架连接在所述溅镀仓的外壁上。