[实用新型]二分之一硅片吸盘

权利要求书

1.一种二分之一硅片吸盘，包括吸盘本体,所述吸盘本体支撑于支撑部,其特征在于：所述支撑部包括支撑座,所述支撑座上设有通槽,所述吸盘本体的连接端自所述通槽一端穿设于所述通槽,所述吸盘本体的连接端设有延伸部；所述支撑部位于所述通槽的至少一侧沿所述吸盘的厚度方向设有卡止槽,所述卡止槽与所述通槽连通,所述卡止槽内设有卡止件,当所述延伸部趋向于所述卡止槽内时受限于所述卡止件。

2.根据权利要求1所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述吸盘本体为真空吸盘,所述吸盘本体的吸取面设有吸取孔,所述吸取孔分布在所述吸取面的两侧，所述吸盘本体的连接端设有吸取口，所述吸盘本体中空且与所述吸取孔和吸取口连通。

3.根据权利要求2所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述支撑部还包括连接所述支撑座的抽气盖,所述抽气盖位于所述通槽的另一端,所述抽气盖朝向所述支撑座的一面设有集气槽，所述集气槽与所述吸取口正对设置，所述抽气盖与所述集气槽相背的一面设有抽气孔，所述抽气孔与所述集气槽连通。

4.根据权利要求3所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述支撑座沿长度方向分布若干所述通槽，所述通槽沿所述支撑座的长度方向依次设置。

5.根据权利要求3所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述通槽的宽度方向与所述支撑座的长度方向相同。

6.根据权利要求4所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述抽气盖分布若干所述集气槽，所述集气槽与所述吸盘本体的吸取口一一对应。

7.根据权利要求6所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述集气槽的外侧设置密封件。

8.根据权利要求6所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：相邻所述集气槽对应的所述抽气孔错位排列。

9.根据权利要求8所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：分布在所述抽气盖上的所述抽气孔呈两列设置。

10.根据权利要求4-9任意一项所述的一种二分之一硅片吸盘，其特征在于：所述吸盘本体的吸取面的方向相同。