[实用新型]一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台

权利要求书

1.一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，包括中空安装平台，所述中空安装平台包括呈上下位置固定的中空顶板和中空底板，所述中空顶板与所述中空底板之间设置有二维调节装置，所述二维调节装置底部连接有安装AFM探针的探针支座，AFM探针置于所述中空安装平台的中空区域下部，所述二维调节装置通过所述探针支座带动AFM探针在水平方向上移动实现水平方向上位置调节，所述中空顶板上安装有实现探针支座竖直升降的升降调节装置。

2.根据权利要求1所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述二维调节装置包括分别实现所述探针支座在相互垂直的X轴和Y轴方向上进行位置调节的X轴调节装置和Y轴调节装置；所述X轴调节装置包括置于所述中空底板上部的中空的移动板、置于所述移动板上部的中空的导板和推动移动板沿导板在X轴方向上滑动的X轴微动电机。

3.根据权利要求2所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述导板呈矩形且两组相对的侧面上均分别设置有燕尾导槽，与X轴平行的一组燕尾导槽内分别配合有X轴滑块，两所述X轴滑块与所述移动板固定安装；与X轴垂直的一组燕尾导槽内分别配合有Y轴固定导向块，两所述Y轴固定导向块与所述中空顶板固定安装，所述Y轴固定导向块、导板和X轴滑块实现所述移动板在竖直方向上的安装。

4.根据权利要求2所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述X轴微动电机呈轴线与X轴平行状态固定在所述中空底板上，且X轴微动电机的电机轴朝向所述移动板，推动所述移动板沿导板在X轴方向移动。

5.根据权利要求2所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述X轴调节装置还包括X轴复位机构，所述X轴复位机构包括两轴线投影与X轴平行的X轴复位弹簧，两所述X轴复位弹簧分别设置在移动板的中空区域内两侧，X轴复位弹簧两端分别与移动板和导板固定，实现移动板在X轴方向上的复位。

6.根据权利要求2所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述Y轴调节装置包括Y轴微动电机，所述Y轴微动电机呈轴线与Y轴平行状态固定在所述中空底板上，且Y轴微动电机的电机轴朝向所述导板，并作用在安装在所述移动板上的X轴滑块上，通过推动X轴滑块带动移动板和导板沿Y轴方向上移动。

7.根据权利要求6所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述Y轴调节装置还包括Y轴复位机构，所述Y轴复位机构包括两轴线投影与Y轴平行的Y轴复位弹簧，两所述Y轴复位弹簧分别设置在移动板的中空区域内两侧，Y轴复位弹簧两端分别与导板和中空顶板固定，实现移动板在Y轴方向上的复位。

8.根据权利要求2所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述探针支座包括与所述移动板固定的Z轴导板和与呈竖直方向设置并与所述Z轴导板活动连接的探针悬臂，AFM探针固定在所述探针悬臂上；所述升降调节装置包括与所述探针悬臂固定连接的升降连接板和呈竖直状态设置并朝向所述升降连接板的Y轴微动电机，所述Y轴微动电机作用在所述升降连接板上带动探针悬臂沿所述Z轴导板升降。

9.根据权利要求8所述的一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，其特征在于，所述Z轴导板上设置有与Z轴方向平行的Z轴燕尾槽，所述探针悬臂上固定有与所述Z轴燕尾槽配合的Z轴滑块；所述Z轴导板与所述探针悬臂之间设置有连接弹簧，所述连接弹簧水平设置且两端分别固定在Z轴导板和探针悬臂上，实现Z轴导板和探针悬臂的活动连接；

所述Z轴导板上连接有Z轴复位弹簧，所述Z轴复位弹簧轴线投影与Z轴平行，且Z轴复位弹簧两端分别与Z轴导板和探针悬臂固定。