[实用新型]一种自动聚焦显微镜光学装置

说明书

本实用新型提供一种自动聚焦显微镜光学装置，包括相机、镜筒、透镜、激光测距仪、半透半反镜、液态变焦镜头以及显微镜；所述相机与所述镜筒连接，所述透镜设置于所述镜筒内，所述激光测距仪连接于所述镜筒上，所述半透半反镜设置于所述镜筒内，所述液态变焦镜头连接于所述镜筒与显微镜之间。采用液态变焦镜头可通过液压控制液态镜片的焦距变化实现快速聚焦功能，聚焦速度快，成像效果佳，聚焦范围大，且对不同厚度的产品兼容性强；液态变焦镜头与机械运动聚焦装置相比，重量更轻，更易于自动化设备安装，且整体成本降低；操作和使用简便，且整体维护较为简单，使用寿命长。

技术领域

本实用新型涉及聚焦成像技术领域，尤其涉及一种自动聚焦显微镜光学装置。

背景技术

随着半导体产业的发展，晶圆缺陷检测的要求也越来越高，目前国内部分厂家依然使用人工检测的方式，产率较高的厂家，基本使用自动化的检测设备。由于不同晶圆产品厚度不同，且较薄的晶圆可能存在翘曲问题，因此要兼容不同厚度产品和翘曲的问题，检测显微镜装置就需要增加自动聚焦功能。

现在国外的自动聚焦方法均是通过增加激光传感器计算激光聚焦点位置，得出聚焦距离，然后增加电动机械装置进行聚焦，但使用电动机构进行Z向移动进行聚焦的方式，一般移动速度较慢，显微镜模组重量较大时，速度也会严重受限；同时机械运动会产生震动，造成图像出现拖影或模糊的现象。

目前电动机械自动聚焦技术效率较低，电动机构为保证运动精度会使用高精度的电机或压电陶瓷装置，致使成本居高不下，因此导致整体设备被成本过高，缺乏竞争力；电动机构使用高精度压电陶瓷时，行程会较短，聚焦范围有限，因此不同晶圆厚度的产品兼容性不佳。

鉴于以上所述，实有必要提供一种新型的自动聚焦显微镜光学装置以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自动聚焦显微镜光学装置，聚焦速度快，成像效果佳，整体成本降低，操作和使用简便，使用寿命长。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种自动聚焦显微镜光学装置，包括相机、镜筒、透镜、激光测距仪、半透半反镜、液态变焦镜头以及显微镜；所述相机与所述镜筒连接，所述透镜设置于所述镜筒内，所述激光测距仪连接于所述镜筒上，所述半透半反镜设置于所述镜筒内，所述液态变焦镜头连接于所述镜筒与显微镜之间。

优选的，所述相机连接于所述镜筒的一端，所述液态变焦镜头连接于所述镜筒的另一端。

优选的，所述激光测距仪连接于所述镜筒的外壁上，且所述激光测距仪发射出的光线能够照射至所述透镜上。

优选的，所述半透半反镜与所述透镜间隔设置，且所述透镜能够将光线折射至所述半透半反镜上。

优选的，所述自动聚焦显微镜光学装置还包括光源，所述光源连接于所述镜筒的外壁上并与所述激光测距仪交错分布。

优选的，所述光源为白色LED光源，所述白色LED光源的灯珠上设置有滤光膜。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种自动聚焦显微镜光学装置，有益效果在于：1）采用液态变焦镜头可通过液压控制液态镜片的焦距变化实现快速聚焦功能，聚焦速度快，成像效果佳，聚焦范围大，且对不同厚度的产品兼容性强。

2）液态变焦镜头与机械运动聚焦装置相比，重量更轻，更易于自动化设备安装，且整体成本降低。

3）操作和使用简便，且整体维护较为简单，使用寿命长。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。