[实用新型]一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构

权利要求书

1.一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：包括基板、用于向基板上镀膜的靶材和用于辅助靶材向基板镀膜的框体，所述基板、靶材个框体均竖直放置，靶材转动连接在框体的一侧，基板在小车带动下在框体的另一侧移动。

2.如权利要求1所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述基板上镀金属膜，基板上的金属膜层由内到外依次为MoOx金属层(1)、Mo金属层Ⅰ(2)、Al金属层(3)和Mo金属层Ⅱ(4)，MoOx金属层(1)、Mo金属层Ⅰ(2)、Al金属层(3)和Mo金属层Ⅱ(4)上下叠放镀在基板上。

3.如权利要求2所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述靶材包括MoOx靶材(5)、Mo靶材Ⅰ(6)、Al靶材(7)和Mo靶材Ⅱ(8)，对应的框体包括MoOx框体(9)、Mo框体Ⅰ(10)、Al框体(11)和Mo框体Ⅱ(12)，MoOx靶材(5)、Mo靶材Ⅰ(6)、Al靶材(7)和Mo靶材Ⅱ(8)分别转动连接在MoOx框体(9)、Mo框体Ⅰ(10)、Al框体(11)和Mo框体Ⅱ(12)的一侧，基板在小车带动下在MoOx框体(9)、Mo框体Ⅰ(10)、Al框体(11)和Mo框体Ⅱ(12)的另一侧移动。

4.如权利要求3所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述MoOx框体(9)、Mo框体Ⅰ(10)、Al框体(11)和Mo框体Ⅱ(12)成排排列布置，基板在小车带动下依次通过MoOx框体(9)、Mo框体Ⅰ(10)、Al框体(11)和Mo框体Ⅱ(12)。

5.如权利要求3或4所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述MoOx框体(9)的空洞面积小于Mo框体Ⅰ(10)的空洞面积，Al框体(11)的空洞面积小于Mo框体Ⅰ(10)的空洞面积，Mo框体Ⅱ(12)的空洞面积大于Al框体(11)的空洞面积。

6.如权利要求5所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述MoOx框体(9)上靠近MoOx靶材(5)一侧的四条边处分别设有上挡板(13)、下挡板(14)、左挡板(15)和右挡板(16)，上挡板(13)、下挡板(14)、左挡板(15)和右挡板(16)与MoOx框体(9)的四条边垂直且向靠近MoOx框体(9)中心的方向延伸。

7.如权利要求6所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述Al框体(11)上靠近Al靶材(7)一侧的四条边处分别设有上挡板(13)、下挡板(14)、左挡板(15)和右挡板(16)，上挡板(13)、下挡板(14)、左挡板(15)和右挡板(16)与Al框体(11)的四条边垂直且向靠近Al框体(11)中心的方向延伸。

8.如权利要求7所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述上挡板(13)和下挡板(14)的长度与框体的宽度相等，上挡板(13)和下挡板(14)的宽度小于框体的长度，左挡板(15)和右挡板(16)的长度与框体的长度相等，左挡板(15)和右挡板(16)的宽度小于框体的宽度。

9.如权利要求7所述的一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构，其特征在于：所述上挡板(13)和下挡板(14)的宽度为22cm，左挡板(15)和右挡板(16)的宽度为11cm。