[实用新型]用于评价半导体粉末材料导电类型和载流子浓度的装置

权利要求书

1.一种用于评价半导体粉末材料导电类型和载流子浓度的装置，其特征在于，包括支撑台（0）、搅拌分散装置、电泳沉积装置和电化学测试装置；

搅拌分散装置、电泳沉积装置和电化学测试装置依次放置在支撑台（0）上；

搅拌分散装置包括磁力搅拌器（1）和烧杯（2），磁力搅拌器（1）放置在支撑台（0）上，烧杯（2）放置在磁力搅拌器（1）上；

电泳沉积装置包括第一电化学池（3）、两个导电衬底（4）和直流电源（5），第一电化学池（3）放置在支撑台（0）上，两个导电衬底（4）放置在第一电化学池（3）中且导电衬底（4）与直流电源（5）连接；

电化学测试装置包括第二电化学池（11）、对电极（6）、参比电极（8）、电化学工作站（9）和计算机（10），第二电化学池（11）放置在支撑台（0）上，对电极（6）、参比电极（8）放置在第二电化学池（11）中，对电极（6）、参比电极（8）与电化学工作站（9）连接，电化学工作站（9）与计算机（10）连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于评价半导体粉末材料导电类型和载流子浓度的装置，其特征在于：所述支撑台（0）上开凿有放置磁力搅拌器（1）和两个电化学池的凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种用于评价半导体粉末材料导电类型和载流子浓度的装置，其特征在于：所述两个导电衬底（4）纵向平行放置在第一电化学池（3）中。

4.根据权利要求1所述的一种用于评价半导体粉末材料导电类型和载流子浓度的装置，其特征在于：所述对电极（6）水平放置在第二电化学池（11）中。