[实用新型]一种单晶炉外置加料机装置有效
| 申请号: | 202120397778.6 | 申请日: | 2021-02-23 |
| 公开(公告)号: | CN214881924U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
| 发明(设计)人: | 姚长娟;刘旭光 | 申请(专利权)人: | 天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 陈雅洁 |
| 地址: | 300384 天津市滨*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 外置 加料 装置 | ||
1.一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:包括单晶炉本体(1)与加料机本体(2);
所述单晶炉本体(1)内设置有用于熔融单晶硅的坩埚(101);
所述加料机本体(2)包括用于投放硅料的投递单元;
加料机本体(2)底部还设置有加料管(3);
所述加料机本体(2)通过加料管(3)与单晶炉本体(1)连通。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述投递单元包括装料桶(4)、仓门(5)、加料管(3)和震动器(7);
装料桶(4)内部设置有多个料仓;
多个料仓用于放置不同粒径的硅料;
多个料仓底部均设置有用于放料的仓门(5);
仓门(5)正下方设置有用于传送硅料的加料管(3);
料仓通过仓门(5)与加料管(3)之间连通;
加料管(3)下方设置有用于为硅料传送提供动力的震动器(7)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述单晶炉本体(1)还包括快速对接单元;
快速对接单元包括闸板阀(8)和过渡法兰(9);
闸板阀(8)和过渡法兰(9)可拆卸连接在单晶炉本体(1)上;
闸板阀(8)与加料管(3)相对设置,过渡法兰(9)与加料管(3)相对设置。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述投递单元还包括波纹管(6);
所述波纹管(6)套接在加料管(3)外侧;
所述波纹管(6)一端固定连接在装料桶(4)外侧壁上,波纹管(6)另一端与过渡法兰(9)可拆卸连接;
所述波纹管(6)用于对硅料复投时密封单晶炉本体(1)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述加料机本体(2)还包括导向移动单元;
所述导向移动单元包括滑轨(201)与滑块(202);
所述滑轨(201)固定设置在地面上;
所述滑块(202)滑动连接在滑轨(201)内。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述加料机本体(2)还包括动力单元;
所述动力单元包括电机(203);
所述电机(203)用于为加料机本体提供动力。
7.根据权利要求2所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述震动器(7)下方设置有用于计量硅料投放重量的重量传感器。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述加料机本体(2)还包括PLC控制单元;
所述PLC控制单元用于控制仓门(5)开启复投硅料。
9.根据权利要求1所述的一种单晶炉外置加料机装置,其特征在于:所述加料机本体(2)顶部还设置有仓盖(204)。
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