[实用新型]一种新型超薄硅片钝化装置

说明书

本实用新型公开了一种新型超薄硅片钝化装置，包括机械本体，机械本体设有工作台，工作台上方设有步进旋转的转盘，转盘表面还装配着多个均匀分布在四周且同向旋转的夹盘，夹盘表面设有多个均匀分布在四周的夹具，转盘内部装有多个控制夹盘旋转的步进电机，步进电机延伸的旋转轴连接有与夹盘底部卡接固定的三角固定块，工作台上方设有固定在夹具上方且电性连接的激光枪，激光枪上方连接有自由上下调节的伸缩杆，伸缩杆通过工作台一侧的侧板悬空固定。采用了激光枪激光的方式，提高了钝化的效果和减少钝化的时间，采用转盘和夹盘的结合方式，不间断地钝化多个硅片，夹盘可以反复地取放更换，提高了整体钝化的效率，减少人力消耗，智能化程度更高。

技术领域

本实用新型涉及钝化技术领域，具体为一种新型超薄硅片钝化装置。

背景技术

由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅元素最典型的用途就是生产硅片，硅片的存在，不断更新能源的技术，特别是超薄硅片的生成。由于硅片容易被氧化，通常采用钝化的方式去降低硅片的氧化程度。目前，现在硅片钝化处理都是采用化学反应的方式来钝化，但是，这种钝化方式速度慢，而且只能单个数量轮流钝化处理，降低了整体的工作效率。

实用新型内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种新型超薄硅片钝化装置，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种新型超薄硅片钝化装置，包括机械本体，所述机械本体设有工作台，所述工作台上方设有步进旋转的转盘，所述转盘表面还装配着多个均匀分布在四周且同向旋转的夹盘，所述夹盘表面设有多个均匀分布在四周的夹具，所述转盘内部装有多个控制所述夹盘旋转的步进电机，所述步进电机延伸的旋转轴连接有与所述夹盘底部卡接固定的三角固定块，所述工作台上方设有固定在所述夹具上方且电性连接的激光枪，所述激光枪上方连接有自由上下调节的伸缩杆，所述伸缩杆通过所述工作台一侧的侧板悬空固定。

进一步地，所述工作台底部连接有箱体，所述箱体一侧固定装有与所述机械本体电性连接的电控箱，所述箱体一侧还设有与所述机械本体控制连接的操作面板。

进一步地，所述工作台底部装配有控制所述转盘步电转动的旋转电机。

进一步地，所述工作台、所述转盘、所述夹盘的高度依次增大，所述夹盘的侧面设有位于转盘上方的凹槽。

进一步地，所述伸缩杆由相互滑动的内杆和外杆组成，所述外杆外侧设有插入所述内杆固定的控制阀。

进一步地，所述伸缩杆顶部固定连接在与所述侧板垂直固定的横板下方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用了激光枪激光的方式取代了传统化学氧化的方式，提高了钝化的效果和减少钝化的时间，同时，采用转盘和夹盘的结合方式，可以不间断地钝化多个硅片，夹盘可以反复地取放更换，提高了整体钝化的效率，减少了人力的消耗，智能化程度更高，整体结构简单，操作方便，实用性强，可适合应用于不同的工作环境。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型内部结构示意图。

图中标号：

1-工作台，2-转盘，3-夹盘，4-夹具，5-步进电机，6-旋转轴，7-三角固定块，8-激光枪，9-伸缩杆，10-侧板，11-箱体，12-电控箱，13-操作面板，14-旋转电机，15-凹槽，16-内杆，17-外杆，18-控制阀，19-横板。

具体实施方式