[实用新型]坩埚旋转启停同位装置有效
申请号: | 202120395042.5 | 申请日: | 2021-02-23 |
公开(公告)号: | CN214865985U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 李胤冉;李愫;孟宁宁;唐俊生;吴孝峰 | 申请(专利权)人: | 昆山硅瑞自动化设备有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;B08B9/093 |
代理公司: | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 徐磊 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 旋转 同位 装置 | ||
1.一种坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,包括:
旋转电机,所述旋转电机为所述坩埚旋转启停同位装置提供旋转力;
光电传感器,所述光电传感器发射光信号;
定位气缸组件,所述定位气缸组件具有沿气缸活塞的推进方向延伸的延伸部,所述延伸部定位所述坩埚的启停位置;
计数定位转盘,所述计数定位转盘上包括反射块和遮挡部,所述反射块反射所述光电传感器发射的所述光信号,所述遮挡部与所述延伸部配合定位所述坩埚的启停位置;
其中,所述旋转电机驱动所述计数定位转盘转动,当所述计数定位转盘旋转预设圈数后,所述旋转电机采用变频控制,同时所述光电传感器给所述坩埚旋转启停同位装置提供停止信号,所述定位气缸组件的所述延伸部推进并与所述遮挡部配合控制所述坩埚旋转启停同位装置停止。
2.根据权利要求1所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,还包括同步机构,所述同步机构包括同步带以及与所述同步带相连的齿轮,所述同步带与所述计数定位转盘连接,所述旋转电机带动所述计数定位转盘转动并产生所述旋转力,所述同步带将所述旋转力传输至所述齿轮并带动所述齿轮转动。
3.根据权利要求1所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,还包括旋转喷淋轴承座,所述旋转喷淋轴承座包括用以包围轴承的外壳和用以支撑所述轴承的底座,所述外壳位于所述底座上。
4.根据权利要求3所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,所述旋转喷淋轴承座还包括用以连接所述外壳与所述底座的连接件,所述连接件位于所述外壳与所述底座之间。
5.根据权利要求3所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,还包括用以支撑所述坩埚的支撑座,所述支撑座由两根相互交叉的长条组成,所述支撑座还包括用以固定两根相互交叉的所述长条的固定件,所述固定件位于两根相互交叉的所述长条的中心位置,所述坩埚位于两根相互交叉的所述长条上。
6.根据权利要求5所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,两根相互交叉的所述长条相互垂直设置。
7.根据权利要求6所述的坩埚旋转启停同位装置,其特征在于,还包括旋转轴,所述旋转轴与所述支撑座连接,所述旋转喷淋轴承座套接在所述旋转轴外围,所述轴承带动所述旋转轴旋转进而带动所述坩埚旋转。
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