[实用新型]一种真空室侧开门

权利要求书

1.一种真空室侧开门，其特征在于：包括侧门主体、侧门压紧装置和侧门翻转装置，所述侧门压紧装置包括安装在真空室外壁的侧门压紧板固定块，以及安装在侧门主体的侧门压紧板，通过侧门压紧装置将侧门主体压紧在真空室侧门的开口处，所述侧门主体的下端通过侧门翻转装置固定安装在真空室外壁。

2.根据权利要求1所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门主体通过一块金属板制成，呈圆角矩形，其与真空室外壁接触的背面开设有一圈环形槽，用于放置密封圈。

3.根据权利要求1所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门翻转装置包括侧门铰链座、转轴和侧门铰链，所述转轴安装在所述侧门铰链座的安装孔和侧门铰链的安装孔上，使得侧门铰链座和侧门铰链通过转轴固定连接。

4.根据权利要求3所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门铰链座固定安装在真空室外壁处，位于侧开门所留位置的下端，所述侧门铰链固定安装在侧门主体的外侧。

5.根据权利要求1所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门翻转装置的数量为2-6个。

6.根据权利要求1所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门压紧装置包括旋钮、侧门压紧板、侧门压紧板固定块和侧门压紧转轴，所述侧门压紧转轴安装在侧门压紧板固定块开设的垂直孔处，旋钮安装在侧门压紧转轴的螺纹孔上，所述侧门压紧板的一端插入所述旋钮和侧门压紧转轴之间的空隙。

7.根据权利要求6所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门压紧板的一端固定安装在侧门主体上，另一端凸出有凹槽，所述凹槽和旋钮相配合。

8.根据权利要求6所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门压紧装置在侧门主体的左右两边，每边至少设置有两个。

9.根据权利要求1所述的真空室侧开门，其特征在于：所述侧门主体的正面设置有把手。