[实用新型]晶圆定位标示工具有效
| 申请号： | 202120350044.2 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN214068704U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张雷 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位 标示 工具 | ||
1.一种晶圆定位标示工具，其特征在于，包括：
至少两个固定杆，两个所述固定杆的一端连接在一起形成一公共端，所述固定杆的另一端设置有用于承载晶圆的承载工具；
垂直杆，一端与所述公共端连接，另一端垂直向下延伸；
至少一移动滑块，滑动套设于每个所述固定杆上；
至少一标示杆，一端连接对应的所述移动滑块，另一端设置有标示工具并垂直向下延伸，所述标示杆可伸缩。
2.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述固定杆的长度大于所述垂直杆、所述标示杆的长度。
3.如权利要求1或2所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述固定杆和所述垂直杆均可伸缩。
4.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述固定杆上设有数字刻度。
5.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述垂直杆垂直向下延伸的一端设置有标示工具。
6.如权利要求1或5所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述标示工具为钻石笔。
7.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述承载工具与所述固定杆转动连接。
8.如权利要求7所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述承载工具上设置有一缓冲垫，所述缓冲垫设置于所述承载工具与所述晶圆接触的表面上。
9.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述移动滑块上设置有螺纹孔，所述固定杆露出于所述螺纹孔，所述螺纹孔内设有一紧固件与所述螺纹孔螺纹连接。
10.如权利要求1所述的晶圆定位标示工具，其特征在于，所述固定杆与所述承载工具可拆卸连接，所述垂直杆与所述公共端可拆卸连接，所述移动滑块与所述标示杆可拆卸连接，所述标示杆与所述标示工具可拆卸连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
