[实用新型]一种具有耐温节能特性的单晶炉

说明书

本实用新型提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，包括保温筒、保温毡、外壳和底壳，所述保温筒、外壳分别固定连接与所述底壳上，所述外壳设于所述保温筒外围，所述外壳与所述保温筒之间设有保温间隙，所述保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，所述外壳内表面设有耐高温涂层。本实用新型中保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，保证保温筒内的温度，且在外壳内部均匀涂覆耐高温涂层，避免外壳受高温后会损伤，不需要通冷却水进行冷却，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产技术领域，尤其涉及一种具有耐温节能特性的单晶炉。

背景技术

单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，在单晶硅的生产中，主流是使用单晶炉利用直拉法来制造，在生产过程中，直拉单晶会产生大量的热量，温度会达到1000℃以上，如果不施加冷却措施的话，单晶炉的炉筒、炉盖和炉底就会受到损伤，因此目前会在单晶炉内通冷却水，通过冷却水带走炉内释放出的热量，保证单晶炉的炉筒、炉盖和炉底不会受到损伤。但是通过冷却水带走热量意味着能耗的增加，即在提高了安全性之后，节能性有所下降，生产经济效益不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术存在的不足，提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，解决了现有技术中单晶炉内需要通冷却水所导致的能耗高，生产经济效益差，节能性不好的问题。

本实用新型提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，包括保温筒、保温毡、外壳和底壳，所述保温筒、外壳分别固定连接与所述底壳上，所述外壳设于所述保温筒外围，所述外壳与所述保温筒之间设有保温间隙，所述保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，所述外壳内表面设有耐高温涂层。

进一步地，所述耐高温涂层的材料为石墨粉。

进一步地，所述耐高温涂层的厚度为1～5mm。

进一步地，所述耐高温涂层的厚度为2mm。

进一步地，所述外壳由不锈钢材料制成。

进一步地，所述保温筒包括第一保温筒和第二保温筒，所述第一保温筒的直径大于所述第二保温筒的直径，所述第一保温筒与所述底壳连接，所述第二保温筒连接于所述第一保温筒上部，所述第一保温筒和第二保温筒的连接处形成一台阶。

进一步地，还包括筒盖，所述筒盖连接于所述第二保温筒顶部。

进一步地，所述保温毡的厚度为10～50mm。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，保证保温筒内的温度，且在外壳内部均匀涂覆耐高温涂层，避免外壳受高温后会损伤，不需要通冷却水进行冷却，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。

附图说明

利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本实施例1的一种具有耐温节能特性的单晶炉的俯视图。

图2是在图1中沿A-A剖面线下的剖视图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。