[实用新型]一种芯片焊接装置有效
申请号: | 202120342170.3 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN214313167U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 卫明墅 | 申请(专利权)人: | 苏州禾立基电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H05K9/00 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 刘颖 |
地址: | 215168 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 焊接 装置 | ||
本实用新型提供一种芯片焊接装置,包括承载台,传送装置以及焊臂机台,承载台上设置有蓝膜,蓝膜上设置有摆放工位,传送装置包括传送电机、传送辊轴以及传送带,传送带上设置有焊接工位,焊臂机台上设置有直线电机,直线电机上连接有焊臂的一端,焊臂另一端部设有橡胶吸嘴,承载台上还设置有至少一个除静电装置,且承载台内设置有转动驱动装置,转动驱动装置与除静电装置相连,并能够带动除静电装置在承载台上转动。本申请承载台的上设有离子风机,通过离子风机向吸片位输送平衡正负离子,能够在橡胶吸嘴快速触及芯片表面,以及芯片被橡胶吸嘴剥离蓝膜的瞬间,防止高压静电的产生,有效的避免了微电子封装时在芯片焊接工序遭受可能的静电损伤。
技术领域
本实用新型涉及微电子模块封装领域,尤其涉及一种芯片焊接装置。
背景技术
微电子模块封装制程中的第一道工序,就是芯片焊接工序。在微电子模块封装前,将芯片焊接在FR4玻璃环氧布条带上。FR4玻璃环氧布是一种非常容易产生静电的材料。第一道工序,首先是在FR4环氧玻璃布条带上需要焊接芯片的区域,滴上导电的银浆或不导电的环氧树脂粘合剂。然后在蓝膜的下方,用顶针将芯片顶出蓝膜。芯片焊接装置上的焊臂上的橡胶吸嘴,吸住芯片,将芯片从蓝膜上取下,并用适当的压力/时间参数,将芯片焊接在FR4玻璃环氧布条带的焊接区域内。最后将FR4玻璃环氧布条带和芯片在适当固化温度的固化炉内固化,完成整个芯片焊接工序。
芯片是一种集成度很高的有源半导体器件。非常容易受到高压静电而损坏。当焊臂上的橡胶吸嘴高速接触到芯片表面的瞬间会产生静电。以及橡胶吸嘴吸住芯片后,当芯片被吸离蓝膜的瞬间,同样也会产生很强的静电。这是一种普通的物理现象。由此产生的静电可以高达几千伏,甚至可接近万伏。芯片是一种有源器件。很容易受到高压静电的击穿而损坏。
所以当芯片焊接装置在高速焊接,即通常每小时焊接8000片以上芯片时,顶针从蓝膜下方将芯片从蓝膜上顶出,焊臂上的橡胶吸嘴快速吸住芯片。在橡胶吸嘴快速触及芯片表面,以及芯片被橡胶吸嘴剥离蓝膜的瞬间,会产生很强的高压静电。高压静电会损伤芯片,甚至会击穿芯片,导致芯片失效。
由于这种原因,通常在微电子模块封装厂房的地板,以及各种制造设备,必需要采取抗静电措施。将设备安全地接地。这些措施都是用于预防对芯片有害的高压静电,但是这些措施会使厂房的建设成本显著上升。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种芯片焊接装置,其能够在橡胶吸嘴快速触及芯片表面,以及芯片被橡胶吸嘴剥离蓝膜的瞬间,防止高压静电的产生。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种芯片焊接装置,包括承载台,传送装置以及焊臂机台,所述承载台上设置有用于放置芯片的蓝膜,所述蓝膜上设置有摆放工位,
所述传送装置包括传送电机、传送辊轴以及传送带,所述传送带上设置有焊接工位,
所述焊臂机台上设置有直线电机,所述直线电机上连接有焊臂的一端,所述焊臂另一端部设有橡胶吸嘴,通过所述直线电机对所述焊臂的驱动,所述橡胶吸嘴可在所述承载台和传送装置之间运动,
所述承载台上还设置有至少一个除静电装置,且所述承载台内设置有转动驱动装置,所述转动驱动装置与除静电装置相连,并能够带动除静电装置在所述承载台上转动。
进一步的,所述除静电装置包括离子风机。
进一步的,所述承载台面向传送装置的一侧设置有挡风板,且所述焊臂上设置有伸缩气缸,所述伸缩气缸与橡胶吸嘴连接。
进一步的,所述直线电机包括X向直线电机,所述直线电机设置于焊臂机台上,所述X向直线电机上连接有Y向直线电机,所述焊臂设置于Y向电机上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造