[实用新型]一种自动检测单晶硅棒晶向的装置有效

专利信息
申请号: 202120304805.0 申请日: 2021-02-03
公开(公告)号: CN214503511U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 赵亮;娄勇 申请(专利权)人: 锦州佑华硅材料有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 代理人: 杨群;郭悦
地址: 121000 辽宁省锦州市太和区*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动检测 单晶硅 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,包括固定板、支架、支撑臂和固定基座,所述固定基座的中间设置有升降护罩,所述固定基座的一侧设置有晶向检测传感器,所述固定基座的边缘处设置有放置装置,所述放置装置包括放置板、卡紧螺柱、固定槽、固定环和转动销,所述固定基座的边缘处设置有转动销,所述固定基座通过转动销与放置板相连接。本实用新型所述的一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,属于单晶硅棒晶向领域,通过将放置板绕着转动销转动,然后通过卡紧螺柱将固定环进行固定,从而使得可以将检测报废的单晶硅棒放在放置板上,通过旋转转动轴使得齿轮与齿条相传动,从而可以将升降护罩进行升降,比较方便。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒晶向领域,特别涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的装置。

背景技术

单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,晶向是指晶体的一个基本特点是具有方向性,沿晶格的不同方向晶体性质不同,布拉维点阵的格点可以看成分列在一系列相互平行的直线系上,这些直线系称为晶列,同一个格点可以形成方向不同的晶列,每一个晶列定义了一个方向,称为晶向。在专利号为CN203824893U,名称为《一种单晶硅棒晶向检测装置》中,升降护罩调整比较麻烦,且升降护罩固定不牢靠,还有检测晶向时,检测晶向时缺少放置装置或者中转平面,报废的单晶硅棒没有放置的地方,有报废品时机械手需要夹持较远的距离,效率较低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,包括固定板、支架、支撑臂和固定基座,所述固定基座的中间设置有升降护罩,所述固定基座的一侧设置有晶向检测传感器,所述固定基座的边缘处设置有放置装置,所述放置装置包括放置板、卡紧螺柱、固定槽、固定环和转动销,所述固定基座的边缘处设置有转动销,所述固定基座通过转动销与放置板相连接,所述固定基座的下表面开设有固定槽,所述固定槽的内部设置有固定环,所述固定基座的一侧设置有卡紧螺柱,所述固定基座上位于升降护罩的一侧设置有调整装置,所述调整装置包括固定块、第一固定螺帽、第二固定螺帽、齿条、齿轮、预留槽、紧固螺栓和转动轴,所述升降护罩的一侧设置有固定块,所述固定块通过紧固螺栓与升降护罩相固定,所述固定块上开设有预留槽,所述预留槽的侧壁设置有齿条,所述固定基座上设置有转动轴,所述转动轴上位于固定基座的两侧设置有第一固定螺帽和第二固定螺帽,所述转动轴的端部设置有齿轮。

优选的,所述固定槽和固定环均为圆弧形,且固定槽和固定环的圆心与转动销轴线相对齐,且固定环沿着固定槽的内部移动,所述卡紧螺柱通过螺纹贯穿固定基座并与其中一个固定环相卡紧。

优选的,所述齿轮与齿条相传动,所述紧固螺栓固定在升降护罩的侧面,所述第一固定螺帽与第二固定螺帽通过螺纹与转动轴相固定。

优选的,所述支撑臂固定安装在固定板上。

优选的,所述固定板通过螺栓安装在支架上。

优选的,所述升降护罩沿着固定基座的内部移动。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

本实用新型中,设置有放置装置,通过将放置板绕着转动销转动,然后通过卡紧螺柱将固定环进行固定,从而使得可以将检测报废的单晶硅棒放在放置板上,比较方便,设置有调整装置,通过旋转转动轴使得齿轮与齿条相传动,从而可以将升降护罩进行升降,比较方便。

附图说明

图1是本实用新型的整体示意图;

图2是本实用新型的主视图;

图3是本实用新型的放置装置示意图;

图4是本实用新型的调整装置拆分图。

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