[实用新型]一种便于维护的反应炉

说明书

本实用新型提供一种便于维护的反应炉，包括：炉管，位于所述炉管的至少一端的炉门组件，靠近所述炉门组件，且至少一部分位于所述炉管内部的内套管，填充在所述炉管与内套管之间的耐腐蚀耐磨隔离物，供气系统及排气系统等。本实用新型所述反应炉在炉管内靠近炉门处增加内套管用于沉积反应残留物，避免炉管严重脏污而需频繁拆卸清理，显著延长炉管的维护周期，减少炉管拆卸频次，降低炉管破碎概率，减少人力成本与维护成本。此外，内套管通过填充在炉管与内套管之间的耐腐蚀隔离物活动地内接于炉管内，不会引起气流场不均匀而影响工艺效果，同时使得安装拆卸内套管更加方便快捷。

技术领域

本实用新型属于热处理设备领域，特别是涉及一种便于维护的反应炉。

背景技术

目前，扩散炉、合金炉、刻蚀炉等管式反应炉进出石英舟时，开腔后的炉门头接触到空气。其中，扩散炉，合金炉腔体内残留的磷化物气体(三氯氧磷)易生成偏磷酸，能够将石英炉管腐蚀穿孔。而刻蚀炉腔体中残留的氯化物(氯化镓，氯化亚铁)发生潮解反应，形成水柱或者呈绿至黄色的斑迹。上述脏污腐蚀严重的部分集中在炉门头前半部分。因此，严重时每周都需对此类反应炉设备进行清理，而清理需要拆卸整个石英管，因为石英腔管壁较大，人员清理操作不方便，且安装较复杂，石英件易碎，严重影响其使用寿命。

为了保护石英炉管，避免其被沉积的反应残留物腐蚀损坏，延长炉管使用寿命，采用在石英炉管内部焊接内套管的方法，但是拆卸极不方便。而只将内套管放置于炉管内部的话，在无任何支撑的情况下，内套管会沉到外套管底部，导致上层有较大缝隙，引起气流场不均匀，不仅浪费气体严重，还会造成工艺效果不佳，产品返工。而内套管底部使用垫块，但是气流依然无法完全从内套管进入到腔体，工艺效果依然不佳。

实用新型内容

基于以上所述的现有技术中的缺点，本实用新型目的在于提出一种便于维护的反应炉，用于解决石英炉管易脏污而需频繁拆卸清理而导致使用寿命短的问题，达到延长维护周期，节约维护成本与人力成本的效果。同时，该设备不会引起气流场不均匀而影响工艺效果，同时拆卸安装内套管更加方便快捷，便于后续石英炉管的维护，实现反应炉的高效使用。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种便于维护的反应炉，包括：

炉管，用于放置待处理晶圆和/或托盘；

炉门组件，位于所述炉管的至少一端部，将所述炉管与外部连通或隔离；

内套管，靠近所述炉门组件，且至少一部分位于所述炉管内部；

供气系统，与所述炉管相连通，用于向所述炉管内通入气体；

排气系统，用于将所述炉管内气体排出到外界，

具有隔离物，所述隔离物填充在所述炉管与内套管之间，使得所述内套管活动内接于所述炉管。

可选地，所述隔离物为耐腐蚀材料，所述隔离物包绕在所述内套管的至少一部分外表面，使得所述内套管与所述炉管之间形成密封隔离带。

可选地，所述隔离物以粘接的形式包绕在所述内套管的至少一部分外表面。

可选地，所述内套管的数量为至少一个。

可选地，所述隔离物包绕于至少一个内套管的至少一部分外表面。

可选地，所述隔离物包绕于最靠近炉门组件的内套管的至少一部分外表面。

可选地，所述隔离物为弹性耐腐蚀材料，包括聚四氟乙烯和氟橡胶材料，其具有很好的柔韧性、弹性、耐高温性及优异的耐腐蚀性。

可选地，所述炉管为石英管，所述内套管为石英套管。

可选地，所述内套管与所述炉管之间径向距离为0-5mm。