[实用新型]一种等离子体发生器阳极装置及等离子体发生器

说明书

本实用新型提供了一种等离子体发生器阳极装置及等离子体发生器，属于等离子体发生器领域。上述阳极装置包括绝缘套、阳极头及阳极筒，绝缘套为圆筒状结构，绝缘套的中部设置有中部法兰。阳极头包括阳极本体及定位环，定位环连接于阳极本体的端部；阳极本体安装在绝缘套内，定位环与绝缘套的端部抵接；阳极头的中部设置有阳极通孔；阳极筒包括筒体、环形板及连接法兰，环形板及连接法兰分别连接于筒体的两端。筒体套设在绝缘套上，并通过连接法兰与中部法兰连接；环形板与定位环抵接。通过螺栓将连接法兰及中部法兰进行连接后，阳极筒端部的环形板将阳极头的定位环压紧固定在绝缘套的端部，从而将阳极头可靠地固定在绝缘套内。

技术领域

本实用新型涉及等离子体发生器领域，具体而言，涉及一种等离子体发生器阳极装置及等离子体发生器领域。

背景技术

等离子体发生器是用人工方法获得等离子体的装置，其基本工作原理是将工艺气体通入到阴极与阳极之间的放电区域，通过高压放电将工艺气体电离从而形成等离子体。等离子体发生器包括相互连接的圆筒状的阴极装置及阳极装置，而现有技术中阳极头与阳极绝缘套部分的固定不够可靠，其使得阳极头容易松动影响等离子体发生器的性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子体发生器阳极装置，其能够将阳极头进行有效固定。

本实用新型的另一目的在于提供一种等离子体发生器，其采用了上述等离子发生器阳极装置。

本实用新型是这样实现的：

一种等离子体发生器阳极装置，包括：

绝缘套，所述绝缘套为圆筒状结构，所述绝缘套的中部设置有中部法兰；

阳极头，所述阳极头包括阳极本体及定位环，所述定位环连接于所述阳极本体的端部；所述阳极本体安装在所述绝缘套内，所述定位环与所述绝缘套的端部抵接；所述阳极头的中部设置有阳极通孔；

阳极筒，所述阳极筒包括筒体、环形板及连接法兰，所述环形板及所述连接法兰分别连接于所述筒体的两端；

所述筒体套设在所述绝缘套上，并通过所述连接法兰与所述中部法兰连接；所述环形板与所述定位环抵接。

进一步，所述连接法兰与所述中部法兰之间设置有垫片，所述垫片采用软铜或橡胶制成；所述连接法兰与所述中部法兰通过螺栓连接。

进一步，还包括引弧电极及多个中间电极，所述引弧电极设置在所述绝缘套远离阳极头的一端，并位于所述绝缘套内；所述多个中间电极依次绝缘设置并位于所述引弧电极及所述阳极头之间，所述多个中间电极与所述引弧电极及所述阳极头之间相互绝缘；

所述引弧电极的中部设置引弧通孔，所述多个中间电极均设置有中间通孔，所述中部通孔、所述引弧通孔及所述阳极通孔同轴设置。

进一步，所述中间通孔为锥形孔，所述中间通孔靠近所述引弧电极的一端孔径较大。

进一步；所述中间电极的端面上设置有定位凸台，所述定位凸台上设置有绝缘环。

进一步；所述阳极通孔为阶梯孔，包括大径孔和小径孔，所述大径孔朝向所述阳极筒的外端设置。

进一步；所述小径孔为锪型孔。

进一步；所述绝缘套远离所述阳极筒的一端设置有端部法兰，所述端部法兰用于与阴极装置连接。

一种等离子体发生器，所述等离子体发生器包括阴极装置及所述的等离子体发生器阳极装置，所述阴极装置与所述阳极装置连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过上述设计得到的等离子体发生器阳极装置，通过螺栓将连接法兰及中部法兰进行连接后，阳极筒端部的环形板将阳极头的定位环压紧固定在绝缘套的端部，从而将阳极头可靠地固定在绝缘套内。