[实用新型]一种七氟异丁腈混合气体配置的装置

权利要求书

1.一种七氟异丁腈混合气体配置的装置，包括一混气罐，所述混气罐上连接有带第一单向阀的七氟异丁腈进气管路、带第二单向阀的稀释气体进气管路和高精度压力表，其特征在于：所述七氟异丁腈进气管路依次连接有第一单向阀、第一调节阀、缓冲罐、第一恒压器和第一流量计；

所述稀释气体进气管路依次连接有第二单向阀、第二调节阀、第二恒压器和第二流量计；

所述第一单向阀与外接七氟异丁腈储罐连通，所述第二单向阀与外接稀释气体储罐连通，第二流量计的出口端和第一流量计的出口端与混气罐的进气口连通，所述进气口连接有第一电磁阀。

2.根据权利要求1所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述第一流量计和第二流量计为质量流量计。

3.根据权利要求2所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述第一流量计和第二流量计为科里奥利氏质量流量计。

4.根据权利要求1所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述缓冲罐内有挡板。

5.根据权利要求4所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述第一调节阀出口端与缓冲罐底部连通，缓冲罐顶部与第一恒压器进口端连通。

6.根据权利要求1所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述混气罐上还连接有气体排空管路。

7.根据权利要求6所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述气体排空管路依次连接有第二电磁阀和真空泵。

8.根据权利要求7所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述装置还包含控制模块，所述控制模块与第一调节阀、第二调节阀、第一恒压器、第二恒压器、第一流量计、第二流量计、第一电磁阀、第二电磁阀和高精度电力表电连接。

9.根据权利要求8所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述控制模块包括参数设置单元、信息收集单元和指令发布单元；参数设置单元实现配置七氟异丁腈混合气体的混合比和气体总量的数值输入；信息收集单元收集混气罐的压力数据以及第一流量计和第二流量计的流量数据；指令发布单元对实时信息进行处理，实现对第一调节阀、第二调节阀、第一恒压器、第二恒压器、第一流量计、第二流量计、第一电磁阀和第二电磁阀的自动调节。

10.根据权利要求1所述的七氟异丁腈混合气体配置的装置，其特征在于：所述的第一调节阀和第二调节阀设置有100％、50％、20％和0％四个档位。