[实用新型]制备电子级四氟化碳的反应器、不间断反应装置

权利要求书

1.一种制备电子级四氟化碳的反应器，其特征在于，包括：

横向反应腔(11)；

设置于所述横向反应腔(11)中部且与所述横向反应腔(11)联通的纵向反应腔(10)；

对称设置于所述横向反应腔(11)两端的进气管道(13)；

用于密封所述横向反应腔(11)的清灰阀门(15)；

水浴槽(12)，用于容置所述横向反应腔(11)，并给所述横向反应腔(11)降温；

温度传感器(16)，设置于所述纵向反应腔(10)的中下部；

喷淋管道(17)，包括多个喷嘴环形布设于所述纵向反应腔(10)的上部；

加料口(18)以及出气口(19)分别设置于所述纵向反应腔(10)的顶部；

控制器，用于当所述温度传感器(16)的温度超过210～250℃时，控制所述喷淋管道(17)对所述纵向反应腔(10)喷淋降温；

所述纵向反应腔(10)包括顶部的柱状段(101)以及底部的收口段(102)，其中，所述收口段(102)的管径沿竖直向下方向递减；定义所述收口段(102)的最小管径为d，所述柱状段(101)的管径为D，其中，d的范围为0.85D。

2.如权利要求1所述的制备电子级四氟化碳的反应器，其特征在于，所述横向反应腔(11)的直径为50厘米，长度为150厘米；且所述纵向反应腔(10)的直径为50厘米，高度为150厘米。

3.如权利要求2所述的制备电子级四氟化碳的反应器，其特征在于，所述温度传感器(16)离所述收口段(102)的最小管径处的高度h为50厘米。

4.如权利要求3所述的制备电子级四氟化碳的反应器，其特征在于，所述控制器用于当所述温度传感器(16)的温度超过230℃时，控制所述喷淋管道(17)对所述纵向反应腔(10)喷淋降温。

5.一种制备电子级四氟化碳的不间断反应装置，其特征在于，包括至少两个如权利要求1-4任一项所述的反应器，所述反应器的进气管道(13)分别通过第一阀门(21)与氟气总进气管道(20)联通，且所述进气管道(13)分别通过第三阀门(24)与氮气总进气管道(25)联通；所述反应器的出气口(19)分别通过第二阀门(23)与总出气管道(22)联通，所述反应器的出气口(19)分别通过第四阀门(26)与废气管道(27)联通。