[实用新型]电子级三氟化氯的充装装置

说明书

本实用新型提供了一种电子级三氟化氯的充装装置。装置包括：罐装单元，包括充装罐，以及用于检测充装罐重量的电子秤以及用于给充装罐降温的降温组件；充装检测单元，分别与充装罐连接的三氟化氯供应管路、氟气供应管路、氮气供应管路以及排空检测管路，设置于各个管路中的过滤器以及自动阀门；防护单元，包括用于容置充装检测单元的内防护层、外防护层、冷凝组件、惰性气体入口、惰性气体出口，内防护层以及外防护层之间形成容置惰性气体的保护腔，冷凝组件设置于保护腔中，惰性气体入口以及惰性气体出口分别与保护腔联通。

技术领域

本实用新型涉及一种电子级三氟化氯的充装装置。

背景技术

三氟化氯是一种很强的氧化剂，它能与大多数有机材料和无机材料甚至金属材料反应，可以使许多材料发生剧烈燃烧，在某些情况下甚至会爆炸。由于三氟化氯特殊的氧化性，对充装方法及设备都有严苛的要求。国内虽有工业级三氟化氯的制备工艺，但其产品充装方法及设备不适用于电子级三氟化氯的充装，且国内无到三氟化氯充装方法流程及设备。

实用新型内容

本实用新型提供了一种电子级三氟化氯的充装装置，可以有效解决上述问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种电子级三氟化氯的充装装置，包括：

罐装单元，包括充装罐，以及用于检测所述充装罐重量的电子秤，用于给所述充装罐降温的降温组件；

充装检测单元，分别与所述充装罐连接的三氟化氯供应管路、氟气供应管路、氮气供应管路以及排空检测管路，设置于各个管路中的过滤器以及自动阀门；

防护单元，包括用于容置所述充装检测单元的内防护层、外防护层、冷凝组件、惰性气体入口、惰性气体出口，所述内防护层以及所述外防护层之间形成容置惰性气体的保护腔，所述冷凝组件设置于所述保护腔中，所述惰性气体入口以及所述惰性气体出口分别与所述保护腔联通。

作为进一步改进的，所述自动阀门采用电动或气动隔膜阀。

作为进一步改进的，所述防护单元进一步包括泄漏检测报警器以喷淋器，设置于所述内防护层内，用于检测是否泄漏，并进行喷淋。

作为进一步改进的，所述充装检测单元进一步包括高纯三氟化氯中杂质定量、定性组件，与所述排空检测管路连接。

作为进一步改进的，定义所述充装罐的体积为ML，其中，所述三氟化氯的最大存储量为1.42Mkg，当电子秤获取所述充装罐达到最大存储量时，控制对应管路的自动阀门关闭。

本实用新型的有益效果是：其一、本实用新型的充装装置采用密封形式，对充装管路进行两次氮气循环保护，降低了泄漏或误操作造成的事故危害；其二、本实用新型充装系统采用了全自控的设计理念，对管道及充装罐阀门全部设计采用自动控制，大大降低了人员充装现场的操作；其三，本实用新型通过温差法对三氟化氯进行充装，不依靠其他设备增加，极大的提升了工艺的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施例提供的电子级三氟化氯的充装装置的结构示意图。

图2-4是本实用新型实施例提供电子级三氟化氯的充装装置中高纯三氟化氯中杂质定量、定性组件的使用状态图。

图5是本实用新型实施例提供的电子级三氟化氯的充装装置的充装方法的流程示意图。

具体实施方式