[实用新型]射频电源阻抗匹配系统和解冻冰箱

说明书

本实用新型公开了一种射频电源阻抗匹配系统，包括：射频电源模块、信号检测模块、负载模块、第一电机、控制模块、电阻、电感和第一电容；其中，所述射频电源模块与所述电阻连接，所述电阻还与所述信号检测模块连接，所述信号检测模块分别连接所述电感和所述控制模块；所述电感连接所述负载模块，所述负载模块连接所述射频电源模块；所述第一电机分别连接所述控制模块和所述第一电容，所述第一电容还连接所述信号检测模块。本实用新型还公开了一种解冻冰箱。采用本实用新型实施例，在射频电源和负载之间实现两者阻抗的自动匹配，具有可自动匹配范围大、匹配速度快、节省能耗的优点。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，尤其涉及一种射频电源阻抗匹配系统和解冻冰箱。

背景技术

目前，射频电源自动阻抗匹配技术应用于各个领域，射频电源的输出阻抗与等离子体负载之间阻抗不匹配，会造成射频功率的浪费，而设置自动阻抗匹配可以有效改善功率浪费。目前具备阻抗匹配功能的产品存在的主要问题有：自动匹配时间长、工作点不稳定，会带来直流损耗。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种射频电源阻抗匹配系统和解冻冰箱，在射频电源和负载之间实现两者阻抗的自动匹配，具有可自动匹配范围大、匹配速度快、节省能耗的优点。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种射频电源阻抗匹配系统，包括：射频电源模块、信号检测模块、负载模块、第一电机、控制模块、电阻、电感和第一电容；其中，

所述射频电源模块与所述电阻连接，所述电阻还与所述信号检测模块连接，所述信号检测模块分别连接所述电感和所述控制模块；

所述电感连接所述负载模块，所述负载模块连接所述射频电源模块；

所述第一电机分别连接所述控制和所述第一电容，所述第一电容还连接所述信号检测模块。

作为上述方案的改进，所述射频电源模块包括射频信号源、电源电路和功放电路；其中，

所述射频信号源与所述功放电路连接，所述电源电路分别连接所述射频信号源和所述功放电路。

作为上述方案的改进，所述信号检测模块包括信号检测芯片及其外围电路。

作为上述方案的改进，所述信号检测模块用于检测所述射频电源模块发出的入射信号以及所述负载模块在接收到所述入射信号后反射回来的反射信号。

作为上述方案的改进，所述阻抗匹配系统还包括第二电机和第二电容，所述第二电机分别连接所述控制模块和所述第二电容，所述第二电容还连接所述电感。

作为上述方案的改进，所述第一电机为步进电机。

作为上述方案的改进，所述第二电机为步进电机。

为实现上述目的，本实用新型实施例还提供了一种解冻冰箱，包括上述任一实施例所述的射频电源阻抗匹配系统；其中，所述负载模块为所述解冻冰箱中的置物腔，所述置物腔用于放置待解冻食物。

相比于现有技术，本实用新型实施例提供的射频电源阻抗匹配系统和解冻冰箱，在负载模块的阻抗变化过程中，通过控制模块输出第一电机的控制信号，可以实现系统(电感和电容)阻抗的动态变化，从而达到射频电源和负载之间实现两者阻抗的自动匹配的目的，具有可自动匹配范围大、匹配速度快、节省能耗的优点。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种射频电源阻抗匹配系统的结构框图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。