[实用新型]一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体

说明书

本实用新型属于喷涂罐体技术领域，尤其为一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，包括真空法兰、外罐体、内罐体、进出水接头、抽真空法兰、水循环冷却装置和侧罐门；内罐体设置在外罐体内部，真空法兰通过焊接方式固定在内罐体和外罐体的两端；在外罐体的顶部安装设置有与内罐体相连接的抽真空法兰，在外罐体的顶部和底部设置有进出水接头，外罐体的前后侧安装设置有侧罐门。本实用新型全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封，由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。

技术领域

本实用新型属于喷涂罐体技术领域，具体涉及一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体。

背景技术

目前常见的喷涂罐体是采用中间夹套，并使用隋性气体为冷却保护气体对真空进行冷却。这种装备会存在喷涂的热量排放不充分，浪费过多的隋性气体，使生产成本增加的不足。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封，由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体，包括真空法兰、外罐体、内罐体、进出水接头、抽真空法兰、水循环冷却装置和侧罐门；内罐体设置在外罐体内部，真空法兰通过焊接方式固定在内罐体和外罐体的两端；在外罐体的顶部安装设置有与内罐体相连接的抽真空法兰，在外罐体的顶部和底部设置有进出水接头，外罐体的前后侧安装设置有侧罐门，进出水接头的进水口和出水口分别通过管路与水循环冷却装置相连接。

作为优选，所述侧罐门上设置有密封圈。

作为优选，所述抽真空法兰设置有两个，抽真空法兰底端与内罐体焊接，抽真空法兰上端延伸至外罐体的上方。

作为优选，所述外罐体底部安装有支撑脚。

作为优选，所述侧罐门通过铰轴安装在外罐体上，侧罐门上设置有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型全封闭的水冷罐体即提升了冷却效果，又降低了运行与维护成本，同时又能保证罐体可靠的密封。这样的装备由于能有效降低罐内温度，对提高罐内配件（如密封圈、油封、轴承等易损件）的寿命有着积极的意义，从而降低了机器的故障停机率；同时为提高了罐内的真空度，可有效降低靶材的含氧率，提升靶材品质。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体的俯视结构示意图；

图2为本实用新型一种全封闭水循环冷却的真空喷涂罐体的结构示意图；

图3为图1中A-A面的结构示意图。

图中；

1、真空法兰；2、外罐体；3、内罐体；4、进出水接头；5、抽真空法兰；6、水循环冷却装置；7、侧罐门。

具体实施方式