[实用新型]一种光刻机投影物镜的温度控制装置

权利要求书

1.一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体(12)，其特征在于：所述投影物镜本体(12)的上表面边缘处设置有第一环形夹板(10)，所述第一环形夹板(10)的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫(11)，所述第一环形夹板(10)的一侧外壁上安装有第一连接板(6)，所述投影物镜本体(12)的下表面边缘处设置有第二环形夹板(15)，所述第二环形夹板(15)的上表面边缘处设置有第二胶垫(13)，所述第二环形夹板(15)的一侧外壁上设置有第二连接板(7)，所述第一连接板(6)的外壁上设置有第二螺纹孔(9)，所述第二连接板(7)的外壁上设置有第一螺纹孔(8)，所述第一螺纹孔(8)的内部设置有螺纹杆(5)，所述投影物镜本体(12)的外壁上设置有环形水套(16)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述第一胶垫(11)的另一侧外壁与投影物镜本体(12)的上表面相接触。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述第二胶垫(13)的另一侧外壁与投影物镜本体(12)的上表面相接触。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述螺纹杆(5)的一端位于第二螺纹孔(9)内，且螺纹杆(5)的另一端安装有安装板(3)，安装板(3)的下表面设置有调节把手(4)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述环形水套(16)的上表面一侧设置有进水管(1)，且环形水套(16)的下表面一侧设置有出水管(14)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述第一连接板(6)通过螺栓(2)与第二连接板(7)相连接。