[实用新型]一种硅片超声波清洗机用密封结构

权利要求书

1.一种硅片超声波清洗机用密封结构，包括超声波清洗机本体（1）和清洗槽（2），其特征在于，所述清洗槽（2）的底端固定连接出水管（11），出水管（11）与清洗槽（2）的连接处开设有卡槽（12），卡槽（12）的内壁开设有环状的限位槽（13），所述出水管（11）内插装有密封塞（14），密封塞（14）上部外缘对应卡槽（12）设有环状的凸起（15），密封塞（14）的顶端设有拉手（16）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于，所述超声波清洗机本体（1）的上端安装有支架（3），超声波清洗机本体（1）的上方设有挂篮（4），挂篮（4）顶部的外缘设有环状的凸环，挂篮（4）上部套装有固定环（5）。

3.根据权利要求2所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于，所述固定环（5）的两端固定连接升降架（6），升降架（6）的两端固定连接滑杆（7），滑杆（7）贯穿支架（3），且滑杆（7）滑动连接支架（3）。

4.根据权利要求3所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于，所述升降架（6）的中部固定连接齿条（8），齿条（8）贯穿支架（3），且支架（3）对应齿条（8）开设有通孔（301）。

5.根据权利要求4所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于，所述齿条（8）啮合齿轮（9），齿轮（9）连接电机（10）。

6.根据权利要求2所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于，所述固定环（5）的侧壁开设有螺纹孔（501），螺纹孔（501）内安装有锁紧螺栓（17），锁紧螺栓（17）位于固定环（5）内部的一端固定连接压板（18）。