[实用新型]一种磁场辅助阴极引弧装置

权利要求书

1.一种磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：包括

引弧电极，包括环形内侧面；

引弧针，设置有若干个，若干引弧针均设置在所述引弧电极环形内侧面上；

阴极靶，所述阴极靶包括圆台段，所述阴极靶设置在所述引弧电极内侧，且与所述引弧电极间隔设置；所述阴极靶竖直放置，所述圆台段的轴垂直水平方向，所述圆台段包括第一端面和第二端面，所述第一端面面积大于第二端面面积，所述圆台段的第二端面向下；

聚焦线圈，聚焦线圈设置在所述引弧电极外围，所述聚焦线圈轴向与所述圆台段轴向平行或同轴；

所述引弧针端部与所述阴极靶接触；

电源，电连接引弧电极，以向阴极靶提供放电电流。

2.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：所述引弧电极为柱形圆环，所述阴极靶置于环内，所述引弧电极与所述阴极靶的圆台同轴设置。

3.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：若干所述引弧针均匀设置在所述引弧电极内壁上，所述引弧针一端固定连接所述引弧电极，另一端轴向延伸至与所述阴极靶接触。

4.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：所述阴极靶包括柱体段和圆台段，所述柱体段直径与所述圆台段第一端面直径相当，所述引弧针连接所述柱体段外壁。

5.根据权利要求4所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：所述阴极靶的柱体段为中空结构，中空腔内流通有冷却液体。

6.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：所述引弧电极、阴极靶和引弧针形成组件，所述聚焦线圈在竖直方向的宽度大于所述组件在竖直方向的宽度，所述组件置于所述聚焦线圈环内。

7.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：还包括偏转线圈，偏转线圈用于调控电弧离子偏转路径。

8.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：还包括有安装筒，安装筒与聚焦线圈同轴设置，聚焦线圈设置在安装筒外壁，所述引弧电极、阴极靶和引弧针设置在安装筒内，引弧电极经过限流电阻连接引弧电源的正极，引弧电源负极接安装筒且接地。

9.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：还包括有真空室，待镀膜的基体置于所述真空室内，偏转线圈位于真空室外，在真空室内形成垂直于水平面的均匀分布磁场，阴极靶激发出的等离子体流运动至该磁场时，电子受到洛伦兹力作用作拉莫尔运动发生偏转。

10.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：引弧电极连接有引弧控制器，引弧针由涂有导电层的绝缘材料制成；

所述引弧电极与阴极靶之间的放电过程由所述引弧控制器控制；

所述电源为直流电源。

11.根据权利要求1所述的磁场辅助阴极引弧装置，其特征在于：真空室与安装筒连通，真空室与安装筒形成L型腔体，真空室由竖直腔体区和水平腔体区形成，竖直腔体区为以安装筒远离真空室的一端为起点沿安装筒的轴向视角可看到的区域，待镀膜的基体置于L型腔体的水平腔体区内。