[实用新型]抗腐蚀圆形深孔PVD挂具

说明书

本实用新型公开了抗腐蚀圆形深孔PVD挂具，包括固定杆，固定杆的顶端和底端分别固定设有两个固定盘，两个固定盘一端的中部均固定设有固定套管，固定杆的四周分别固定设有若干个挂筒，若干个挂筒的内部均设有适用组件，适用组件包括若干个第一推杆电机、若干个T型填充箱、若干个活动块、若干个推块和若干个第二推杆电机，本实用新型的有益效果是：将需要进行镀膜的物料套设在若干个挂筒上，通过适用组件中设置的第一推杆电机推动推块使T型填充箱中的液压油与两个活动块相作用，使两个活动块与物料的内壁相接触进行固定，再通过第二推杆电机与顶块相配合，适用于一定范围内的各种孔径圆形深孔的物料，提高适用性。

技术领域

本实用新型涉及一种PVD挂具，特别涉及抗腐蚀圆形深孔PVD挂具，属于真空镀膜辅助设备技术领域。

背景技术

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源--固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等，其中镀膜设备有立式真空镀膜机和卧式真空镀膜机，但现有的立式真空镀膜机具有的PVD挂具不适用于一定范围内的各种孔径圆形深孔的物料，适用性差，且防腐性较差长时间使用影响其使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供抗腐蚀圆形深孔PVD挂具，以解决上述背景技术中提出的现有的立式真空镀膜机具有的PVD挂具不适用于一定范围内的各种孔径圆形深孔的物料，适用性差，且防腐性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：抗腐蚀圆形深孔PVD挂具，包括固定杆，所述固定杆的顶端和底端分别固定设有两个固定盘，两个所述固定盘一端的中部均固定设有固定套管，所述固定杆的四周分别固定设有若干个挂筒，若干个挂筒的内部均设有适用组件，所述适用组件包括若干个第一推杆电机、若干个T型填充箱、若干个活动块、若干个推块和若干个第二推杆电机，若干个所述第一推杆电机分别固定设置在若干个挂筒内壁一端的中部，若干个所述T型填充箱分别嵌设在若干个挂筒内壁的中部，若干个所述活动块分别滑动设置在若干个T型填充箱的顶端和底端，若干个所述推块分别滑动设置在若干个T型填充箱内壁的另一端，若干个所述推块的一侧分别与若干个第一推杆电机的输出端固定连接，若干个所述第二推杆电机分别固定设置在若干个T型填充箱另一侧的中部，若干个所述T型填充箱的内部均填充有液压油，若干个所述第二推杆电机的输出端均固定设有顶块，所述固定杆和若干个挂筒的外部均固定设有抗腐组件。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抗腐组件包括若干个第一防护层、若干个第一抗腐层、第二防护层和第二抗腐层，若干个所述第一防护层分别固定设置在若干个挂筒的外部，若干个所述第一抗腐层分别固定固定设置在若干个第一防护层的外部，所第二防护层固定设置在固定杆的外部，所述第二抗腐层固定设置在第二抗腐层的外部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述套管内壁的一端分别固定设有两个弹簧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述弹簧的另一端分别固定设有两个连接杆，两个所述连接杆的一端分别滑动穿插设置在两个套管的内部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，若干个所述第一防护层和第二防护层均为钛合金材质制成，若干个所述第一抗腐层和第二抗腐层均为高镍合金材质制成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，若干个所述第一推杆电机和若干个第二推杆电机均通过外接开关与外接电源电性连接。