[实用新型]一种用于立式炉的传片系统有效

申请号：	202120251992.0	申请日：	2021-01-28
公开（公告）号：	CN214477366U	公开（公告）日：	2021-10-22
发明（设计）人：	何永平;杨金;邓斌;王学仕;周水清	申请（专利权）人：	中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/67
代理公司：	湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008	代理人：	戴玲
地址：	410111 湖南***	国省代码：	湖南;43
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摘要：
搜索关键词：	一种用于立式系统
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【权利要求书】：

1.一种用于立式炉的传片系统，其特征在于：包括片盒上下料室(1)、缓存片库室(2)、工艺室(3)和传片机械手(4)，所述片盒上下料室(1)与缓存片库室(2)对接且二者之间设有可连通和隔断的后门(6)，所述片盒上下料室(1)于后门(6)的前方设有前门(5)，所述缓存片库室(2)与工艺室(3)对接，所述片盒上下料室(1)内设有承载台(7)，所述缓存片库室(2)内设有至少一个载片架(8)，所述工艺室(3)内设有舟架(9)，所述传片机械手(4)活动于载片架(8)与舟架(9)之间。

2.根据权利要求1所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述舟架(9)可升降的设于工艺室(3)内。

3.根据权利要求1所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述载片架(8)上设有多层置片槽。

4.根据权利要求3所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述舟架(9)上设有多层置片槽。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述片盒上下料室(1)内设有气氛清洗装置。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述后门(6)设于片盒上下料室(1)上。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的用于立式炉的传片系统，其特征在于：所述传片机械手(4)设于缓存片库室(2)内。

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