[实用新型]一种浸泡装置有效

专利信息
申请号: 202120235182.6 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN214400804U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 陈坚生;陈有荣;陈斯娜 申请(专利权)人: 珠海科艺普实验室设备有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 郑晨鸣
地址: 519000 广东省珠海市高新区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 浸泡 装置
【权利要求书】:

1.一种浸泡装置,其特征在于,包括:

柜体,设置有浸泡槽;

第一支架,连接在所述浸泡槽的内底,多个所述第一支架在所述浸泡槽中沿左右方向间隔排列,所述第一支架上设置有卡口,所述卡口的下端设置有圆角,所述卡口用于卡接晶棒,所述圆角用于承托晶棒。

2.根据权利要求1所述的一种浸泡装置,其特征在于:还包括废液槽,所述废液槽设置在所述柜体上,所述废液槽和所述浸泡槽在前后方向并排。

3.根据权利要求2所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述废液槽上方设置有滤板,所述滤板上开设有多个滤孔,所述滤板用于放置晶棒。

4.根据权利要求3所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述滤板上连接有多个第二支架,多个所述第二支架用于支撑晶棒,使晶棒与所述滤板之间有间隔。

5.根据权利要求4所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述第二支架沿左右方向滑动连接在所述滤板上。

6.根据权利要求1所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述第一支架沿左右方向滑动连接在所述浸泡槽的内底。

7.根据权利要求1所述的一种浸泡装置,其特征在于:还包括支撑块,所述支撑块设置为拱形,所述支撑块连接在所述浸泡槽的内底,所述支撑块的拱形端连接所述第一支架的下端。

8.根据权利要求权利要求1至7任一项所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述浸泡槽上端可拆卸连接有盖板。

9.根据权利要求8所述的一种浸泡装置,其特征在于:所述盖板设置有多块,多块所述盖板在前后方向并排,一块所述盖板在上下方向对应一个所述卡口。

10.根据权利要求1所述的一种浸泡装置,其特征在于:还包括柜门,所述柜门沿竖向滑动连接在所述柜体的前端。

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