[实用新型]平面度检测设备及系统

说明书

本实用新型涉及一种平面度检测设备及系统。所述平面度检测设备，包括底座、检测平台与测距传感器，检测平台装配在底座上，检测平台包括支撑结构，支撑结构位于检测平台远离底座的一侧，用于支撑待检测板件；支撑结构与待检测板件的结构相匹配。测距传感器位于检测平台远离底座的一侧，在待检测板件放置于检测平台上后，测距传感器用于检测待检测板件上的N个待检测位置分别与测距传感器之间的距离，得到N个距离信息，N个距离信息用于确定待检测板件的平面度，N为大于2的整数。根据本实用新型的实施例，可以检测玻璃基板的平面度，以改善制备工艺减小玻璃基板的平面度，避免玻璃基板在进入后续工艺设备时容易发生破碎导致工艺设备宕机的问题。

技术领域

本实用新型涉及平面度检测技术领域，尤其涉及一种平面度检测设备及系统。

背景技术

相关技术中，随着玻璃基板在工艺路线中的流转，经历成膜、刻蚀、加热、冷却等各种加工工艺，玻璃基板中各膜层之间形成不同程度的应力，部分玻璃基板中膜层之间的应力过大导致玻璃基板发生变形，在进入后续工艺设备时，容易发生玻璃基板破碎导致工艺设备宕机的问题。

因此，如何检测玻璃基板的平面度，以改善制备工艺减小玻璃基板的平面度，避免玻璃基板在进入后续工艺设备时容易发生破碎导致工艺设备宕机的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种平面度检测设备及系统，以解决相关技术中的不足。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种平面度检测设备，包括：

底座；

检测平台，可拆卸地装配在所述底座上，所述检测平台包括支撑结构，所述支撑结构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，用于支撑待检测板件；所述支撑结构与所述待检测板件的结构相匹配；

测距传感器，位于所述检测平台远离所述底座的一侧，在所述待检测板件放置于所述检测平台上后，所述测距传感器用于检测所述待检测板件上的N个待检测位置分别与所述测距传感器之间的距离，得到N个距离信息，所述N个距离信息用于确定所述待检测板件的平面度，N为大于2的整数。

在一个实施例中，所述的平面度检测设备，包括转轴、M个所述底座以及M个所述检测平台，M个所述底座围绕所述转轴设置，且M个所述底座分别与所述转轴固定连接，M个所述检测平台一一对应地装配在M个所述底座上，M个所述检测平台的支撑结构不相同；M为大于1的整数；

所述待检测板件放置于M个所述检测平台中面向所述测距传感器的所述检测平台上。

在一个实施例中，所述平面度检测设备，还包括驱动机构，所述驱动机构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，所述测距传感器位于所述驱动机构上，所述驱动机构用于驱动所述测距传感器分别移动至N个所述待检测位置。

在一个实施例中，所述驱动机构包括第一直线驱动机构、第二直线驱动机构与第三直线驱动机构，所述第一直线驱动机构沿第一方向延伸，所述第二直线驱动机构沿第二方向延伸，所述第三直线驱动机构沿第三方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向；

所述第一直线驱动机构位于所述第二直线驱动机构上，所述第二直线驱动机构用于驱动所述第一直线驱动机构沿所述第二直线驱动机构移动；

所述第三直线驱动机构位于所述第一直线驱动机构上，所述第一直线驱动机构用于驱动所述第三直线驱动机构沿第一直线驱动机构移动；

所述测距传感器位于所述第三直线驱动机构上，所述第三直线驱动机构用于驱动所述测距传感器沿所述第三直线驱动机构移动。

在一个实施例中，所述检测平台可拆卸地装配在所述底座上，所述平面度检测设备还包括平台仓与平台传输机构；