[实用新型]一种程控复合电压电流源电路

说明书

一种程控复合电压电流源电路，包括并行设置的多条VI驱动支路以及两条电压差分采样支路，每条VI驱动支路均包括电压档位切换开关与电流档位切换开关；每条VI驱动支路均能够构建为标准的VI源，电流采样通过电流档位切换开关实现，电压差分采样支路的电压采样对应采集的是每条VI驱动支路输出端电压与SGND两点之间的差分电压；通过调节电压档位切换开关与电流档位切换开关实现不同的参数测试回路。本实用新型能够构建出很多全新的测试回路，使用方便，同时能够使体积大幅度缩小，使测试半导体器件直流参数的功能模块集成在一张板卡上有了可行性，提高了集成度，可以并行测试更多器件。

技术领域

本实用新型属于半导体器件测试领域，具体涉及一种程控复合电压电流源电路。

背景技术

程控电压电流源又名VI源，是指可以通过软件控制的多功能电源电路，该多功能电源电路可以输出正负电压、正负电流，也可以采样电压、电流，其特点是能够在四象限范围内自由输出。比如设置为正电压输出，在保证输出电压的前提下，可以作为电源输出电流，也可以电子负载输入电流。因此，VI源可以看做是一种趋于理想化的电源。

VI源一般有输出线HF，输出采样线HS；还有输出地LF和输出地采样线LS。当设置为电压源时，通过内部闭环电路，达到HS-LS与设定值等值。在半导体测试设备中，VI源是一种常用的配置，可以对被测器件各个引脚灵活的加载、采样。但是，在某些半导体器件参数的测试中，仅仅依靠标准的VI源，不足以搭建起完整的测试回路。比如MOSFET的gfs(GMP)参数测试，BJT的hfe测试等，都需要额外搭建测试回路。如图1中的GMP测试回路，LV2是电流源(标准VI)，LV3是变动的电流源(标准VI)，LV1是电压源(非标准VI)。其中LV1不能用标准VI实现，因为其LF、LS并未接到固定的电源地上，而是浮动的。因此，要完成GMP测试，要么在VI外部专门设计闭环回路，要么设计专用的LF/LS可浮动的VI源。这样就会造成测试回路的复杂化，还要兼顾测试其它参数，就会使回路更加复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述现有技术中VI源测试不同参数时需要额外搭建测试回路的问题，提供一种程控复合电压电流源电路，集成度较高，能够同时满足多种参数的测试。

为了实现上述目的，本实用新型有如下的技术方案：

一种程控复合电压电流源电路，包括并行设置的多条VI驱动支路以及两条电压差分采样支路，每条VI驱动支路均包括电压档位切换开关与电流档位切换开关；每条VI驱动支路均能够构建为标准的VI源，电流采样通过电流档位切换开关实现，电压差分采样支路的电压采样对应采集的是每条VI驱动支路输出端电压与SGND两点之间的差分电压；通过调节电压档位切换开关与电流档位切换开关实现不同的参数测试回路。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的VI驱动支路并行设置A、B、C三条，能够同时并联对同一个或不同半导体器件的三个管脚进行测量。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的电压档位切换开关与电流档位切换开关之间通过功能选择开关选择连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的电压档位切换开关包括多个相并联的开关，其数量与VI驱动支路对应，以及一个连接SGND的接地开关。

作为本实用新型的一种优选方案，VI驱动支路均包括SENSE端和FORCE端，电流档位切换开关包括相并联的两个开关，其中一个连接到FORCE端，另一个连接至SENSE端。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的每条VI驱动支路的电压档位切换开关与电流档位切换开关通过计算机进行设置。