[实用新型]一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，包括至少两组具有设定角度的调整机构(3)，每组所述调整机构(3)包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置，以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆，所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘(2)的侧壁固定连接，钨丝绳(1)从所述圆盘(2)的中心孔穿过，所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，钨丝绳的位置通过调整装置来调整，以此使钨丝绳与转动中心保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量；通过调整装置控制，省时省力，效率较高，对中精准度较高。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别是涉及一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置。

背景技术

单晶炉是通过钨丝绳将籽晶浸入石英坩埚内熔化的硅料中，在转动籽晶及坩埚的同时提升籽晶，并在籽晶下端生长晶棒。因此钨丝绳与转动中心需要保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量。

现有技术中，钨丝绳对中依靠的是人工调整将钨丝绳固定住的上轴水平调整部件来实现，在钨丝绳的籽晶夹头一端安装上对中针然后降下籽晶夹头，使得对中针触及安装在下轴的校直靶上，再观察对中针是否正对校直靶中心，若未对中，需要先松开位于单晶炉最上端的用于固定上轴调整法兰的6个调整螺钉，因为调整法兰的下端连接着波纹管，各方向上具有移动量，就可以通过调整侧面的3个定位螺钉的松紧，来实现钨丝绳在三个方向上的移动使得保证对中，调整好后，在压紧法兰上的3个紧定螺钉，无变化后在锁紧侧面调整螺钉的螺母。

但是，钨丝绳对中调整主要是通过调整法兰侧面的3个定位螺钉来实现，操作方法非常繁琐，并且需要爬到10米多高的单晶炉顶部操作，效率较低，对中精度较低，较为危险。

综上所述，如何有效地解决钨丝绳对中调整操作不便，对中精度较低，效率较低，较为危险等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，该用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置使钨丝绳对中调整实现自动化，对中精度较高，对中效率较高，较为安全。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，包括至少两组具有设定角度的调整机构，每组所述调整机构包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置，以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆，所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘的侧壁固定连接，钨丝绳从所述圆盘的中心孔穿过，所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。

优选地，所述调整机构的数量为三组，三组所述调整机构在圆周方向上均匀分布。

优选地，所述丝杆的轴线方向沿水平方向设置。

优选地，所述丝杆的轴线方向与所述圆盘的侧壁横向中心线的高度相同。

优选地，所述圆盘的侧壁具有圆孔，所述丝杆的末端与所述圆孔过盈配合。

优选地，所述丝杆和所述圆盘的材质均为钢铁，所述丝杆和所述圆盘的侧壁通过焊接连接。

优选地，所述驱动装置为电机。

优选地，还包括与所述驱动装置的电磁阀电连接的控制器。

本实用新型所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，调整装置用于单晶炉钨丝绳自动对中，包括至少两组调整机构，调整机构之间具有设定角度，可以均匀分布，也可以不均匀分布。调整机构可以同时驱动，也可以单独驱动，根据钨丝绳调整的角度和长度来确定调整机构的驱动数据，控制方便。每组调整机构包括安装座、驱动装置以及丝杆，安装座固定于单晶炉的基架上，基架可以是单晶炉的壳体部分，也可以是固定于单晶炉上的架子。安装座和基架可以是固定连接，比如焊接连接，连接牢固；也可以是通过螺栓连接，方便拆卸。