[实用新型]一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置

权利要求书

1.一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，包括固定于有密封圈的真空管道(3)内部的驱动电机、第一端与所述驱动电机的输出轴连接的伸缩机构(2)、与所述伸缩机构(2)的第二端连接的清理刷(1)，所述驱动电机能够驱动所述伸缩机构(2)旋转，所述伸缩机构(2)的长度能够沿真空管道(3)轴线方向伸缩，所述清理刷(1)旋转时能够与真空管道(3)的内壁360°接触。

2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，还包括与所述驱动电机和所述伸缩机构(2)电连接的控制器。

3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述驱动电机和所述伸缩机构(2)上均连接有电磁阀，所述控制器与电磁阀连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述伸缩机构(2)为千斤顶。

5.根据权利要求4所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述千斤顶的伸缩距离固定。

6.根据权利要求5所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述清理刷(1)设置于所述真空管道(3)的中心位置。

7.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述清理刷(1)的长度大于管道清理长度。

8.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，其特征在于，所述清理刷(1)为软毛刷。