[实用新型]中空阴极管启动装置及中空阴极中和器

权利要求书

1.一种中空阴极管启动装置，其特征在于，包括：设置于中空阴极管的头部位置处的加热部件，以及连接所述中空阴极管的维持电源；

所述加热部件设于所述中空阴极管的头部周围；所述维持电源的负极连接中空阴极管、正极连接维持极；

所述维持电源用于在启动中空阴极管时，向中空阴极管提供维持电流；

所述加热部件用于对中空阴极管进行加热，直至所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时止。

2.根据权利要求1所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，还包括：连接所述加热部件的加热电源，用于向所述加热部件提供加热电流。

3.根据权利要求2所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，所述加热部件包括紧密缠绕在中空阴极管头部的加热丝；

所述加热电源为交流电源或直流电源，所述加热电源的一端连接中空阴极管，另一端连接所述加热丝。

4.根据权利要求2所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，所述加热部件包括设于中空阴极管头部的感应线圈，所述感应线圈与中空阴极管头部非接触；

所述加热电源为中频或高频电源，所述加热电源的两端分别与感应线圈的两端连接。

5.根据权利要求2所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，所述中空阴极管的工作气体为惰性气体，导入工作气体的气体量为5-10sccm；所述维持电流的电流范围为200mA-500mA。

6.根据权利要求2-5任一项所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，还包括：分别连接所述加热电源和维持电源的控制端；

所述控制端用于控制所述加热电源输出加热电流的开启/关闭、加热时间和加热电流大小，以及控制所述维持电源的开启和维持电流大小。

7.根据权利要求6所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，还包括连接所述控制端的温度传感器，用于检测所述加热部件的温度数据并传输至所述控制端。

8.根据权利要求6所述的中空阴极管启动装置，其特征在于，还包括连接在中空阴极管的气管上的气体流量计，用于在所述控制端的控制下调节输入中空阴极管的工作气体的气体量。

9.一种中空阴极中和器，其特征在于，包括：中空阴极管，以及权利要求1-8任一项所述的中空阴极管启动装置。

10.根据权利要求9所述的中空阴极中和器，其特征在于，还包括：连接所述中空阴极管的阴极电源；其中，所述阴极电源负极连接中空阴极管，正极接地；

所述阴极电源用于在中空阴极管输出所述热电子后，向中空阴极管提供电子持续输出所需的电流。