[实用新型]一种新型高效三销钉调节装置

说明书

本实用新型公开了一种新型高效三销钉调节装置，包括波导管和散热罩，所述波导管左右两端困设置有法兰，所述波导管顶部设置有散热罩，所述散热罩顶部设置有旋钮，所述散热罩内部设置有销钉调节螺杆，所述螺杆外侧设置有销钉铜棒，所述销钉调节螺杆上部套装有轴承，所述波导管包括上合件和下合件，所述上合件顶部设置有安装座，所述安装座内侧设置有套筒，所述上合件底部设置有卡紧条，所述下合件顶部开设有卡紧槽；本实用新型具有提高导电性、运行稳定、结构设计稳定、使用方便、便于更换、适合推广使用的优点。

技术领域

本实用新型涉及金刚石生长技术领域，尤其是涉及一种新型高效三销钉调节装置。

背景技术

微波等离子体化学气相沉积技术，简称MPCVD，是在真空状态下设计微波能量激发的等离子体态的工作环境，同时激活被沉积物的表面化学键和沉积气体分子形成的离子，交换结合形成沉积，它是目前世界上生长金刚石材料的最先进技术之一，微波等离子体技术能提供大面积的沉积工作区域，并且没有电极污染；

离开微波发生器的微波能量，在波导管中传播时不可避免的产生反射，现有技术的三销钉经常不能完美的匹配金刚石沉积工艺要求，存在微波发射不稳定和高反射率的缺陷，现有三销钉调配器是在波导管上直接焊接三个带螺纹孔的基座，制作装配非常复杂，一旦基座或其散热罩发生损坏，需要更换整个调配器，存在更换难度大、成本高的问题，为此，我们提出一种新型高效三销钉调节装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有提高导电性、运行稳定、结构设计稳定、使用方便、便于更换、适合推广使用的一种新型高效三销钉调节装置，解决了现有技术中的问题。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：一种新型高效三销钉调节装置，包括波导管和散热罩，所述波导管左右两端困设置有法兰，所述波导管顶部设置有散热罩，所述散热罩顶部设置有旋钮，所述散热罩内部设置有销钉调节螺杆，所述螺杆外侧设置有销钉铜棒，所述销钉调节螺杆上部套装有轴承；

所述波导管包括上合件和下合件，所述上合件顶部设置有安装座，所述安装座内侧设置有套筒，所述上合件底部设置有卡紧条，所述下合件顶部开设有卡紧槽。

本实用新型进一步设置为：所述上合件与所述下合件之间相互扣合形成贯通腔。

通过采用上述技术方案，销钉调节螺杆配合以销钉铜棒伸入贯通内腔中，对产生的微波峰值进行调整。

本实用新型进一步设置为：所述旋钮底端与所述销钉调节螺杆固定连接，且所述销钉调节螺杆设有外螺纹。

通过采用上述技术方案，通过外置旋钮设计可以便于对销钉调节螺杆进行调节，以达到方便使用的目的。

本实用新型进一步设置为：所述销钉调节螺杆与所述销钉铜棒相互套装装配。

通过采用上述技术方案，通过销钉调节螺杆的转动从而使得销钉铜棒的高度进行调节，进而对微波峰值进行调整。

本实用新型进一步设置为：所述卡紧条与所述卡紧槽之间相互适配扣合。

通过采用上述技术方案，提高波导管装配使用的灵活性，卡紧条与卡紧槽相互适配扣合，可以有效的保证产生的微波传递过程中的密封性。

本实用新型进一步设置为：所述安装座表面开设有装配孔，所述装配孔设有四组呈中心对称分布，且所述散热罩与上合件之间通过装配孔固定连接。

通过采用上述技术方案，提高散热罩与波导管之间装配的灵活性，便于对损坏部件进行更换，降低了部件更换难度，同时降低了成本投入。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：