[实用新型]硅棒承载装置及多工位开方设备有效
| 申请号: | 202120168894.0 | 申请日: | 2021-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN214562088U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 吴张琪;俞佳文;李鑫;钱春军;曹奇峰;卢建伟 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 承载 装置 多工位 开方 设备 | ||
1.一种硅棒承载装置,其特征在于,应用于多工位开方设备,所述多工位开方设备包括机座和线切割装置;所述硅棒承载装置包括:
承托台;
至少一组硅棒承载结构,设于所述承托台上;每一组硅棒承载结构包括至少一对硅棒承载结构,用于承载立式置放的硅棒;每一对硅棒承载结构具有用于驱动所述一对硅棒承载结构中各硅棒承载结构所承载的硅棒转动的硅棒转动机构;以及
承托台转换机构,用于驱动所述承托台作转换运动以令所述承托台上的硅棒承载结构在装卸区和切割区之间转换。
2.根据权利要求1所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述承托台转换机构位于所述承托台的中央区域,所述承托台中相对所述中央区域的两侧分别设有第一配置区和第二配置区,在所述第一配置区上设有第一组硅棒承载结构,在所述第二配置区上设有第二组硅棒承载结构;当所述第一组硅棒承载结构位于装卸区时所述第二组硅棒承载结构位于切割区,或者,当所述第一组硅棒承载结构位于切割区时所述第二组硅棒承载结构位于装卸区。
3.根据权利要求1所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述承托台转换机构位于所述承托台的中央区域,所述承托台中相对所述中央区域的一侧设有配置区,在所述配置区上设有一组硅棒承载结构。
4.根据权利要求1所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述硅棒转动机构包括:
第一转动部件,轴接于一对硅棒承载结构中第一硅棒承载结构的转动轴;
第二转动部件,轴接于一对硅棒承载结构中第二硅棒承载结构的转动轴;
连杆部件,活动连接于第一转动部件和第二转动部件;
传动组件,关联于第一转动部件或第二转动部件;
其中,当所述传动组件受控后驱动关联的第一转动部件或第二转动部件以带动第一硅棒承载结构或第二硅棒承载结构转动,通过连杆部件带动第二硅棒承载结构或第一硅棒承载结构转动。
5.根据权利要求4所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述传动组件为气缸,所述气缸的气缸杆活动连接于第一转动部件或第二转动部件。
6.根据权利要求4所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述第一硅棒承载结构的转向与所述第二硅棒承载结构的转向一致,所述第一硅棒承载结构和第二硅棒承载结构的转动角度为90°。
7.根据权利要求4所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述硅棒转动机构还包括邻设于所述连杆部件的限位部件。
8.根据权利要求1所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述承托台转换机构包括:
转动轴,轴接于所述承托台;以及
转动驱动单元,用于驱动所述转动轴转动以带动所述承托台转动。
9.根据权利要求8所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述转动驱动单元包括:
转动齿轮,设于所述转动轴上;
驱动齿轮,与所述转动齿轮啮合;以及
驱动动力源,用于驱动所述驱动齿轮。
10.根据权利要求8所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述承托台转换机构还包括定位结构,用于在所述承托台转动预设角度后予以定位以形成锁止状态。
11.根据权利要求10所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述定位结构包括:
第一定位部,设于所述承托台上;以及
第二定位部,设于所述机座上。
12.根据权利要求11所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述第一定位部为设于所述承托台底部的定位孔或定位槽,所述第二定位部为设于所述机座上的定位销或定位凸部。
13.根据权利要求1所述的硅棒承载装置,其特征在于,所述承托台具有内缩的腰部。
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