[实用新型]一种含氟尾气的处理装置有效

专利信息
申请号: 202120153678.9 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN214486355U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 雷海平;苏·丹尼尔 申请(专利权)人: 欧中电子材料(重庆)有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68;B01D53/96;B01D53/18
代理公司: 广州恒成智道知识产权代理有限公司 44575 代理人: 刘挺
地址: 401221 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 尾气 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:包括放空反应器(1),所述放空反应器(1)内设炭瓶(101),在所述放空反应器(1)内底部与所述炭瓶(101)之间安装有电加热器(102),所述放空反应器(1)顶部连接一级水洗塔(2),所述一级水洗塔(2)塔底设有一级水洗塔水箱(21),所述一级水洗塔水箱(21)的背离所述放空反应器(1)的一侧连接第一耐腐蚀水循环泵(4),在所述一级水洗塔(2)的与第一耐腐蚀水循环泵(4)所处相同的侧面连接第一氟塑料桶(7),所述第一耐腐蚀水循环泵(4)泵出口连接第二阀门(5),所述一级水洗塔(2)塔顶连接碱洗塔(8),所述碱洗塔(8)塔底设有碱液箱(81),所述碱液箱(81)的背离所述一级水洗塔(2)的一侧连接耐碱循环泵(10),在所述碱洗塔(8)的与耐碱循环泵(10)所处相同的侧面连接废碱液桶(13),所述耐碱循环泵(10)泵出口连接第五阀门(11),所述碱洗塔(8)塔顶连接二级水洗塔(14),所述二级水洗塔(14)塔底设有二级水洗塔水箱(141),所述二级水洗塔水箱(141)的背离所述碱洗塔(8)的一侧连接第二耐腐蚀水循环泵(16),在所述二级水洗塔(14)的与第二耐腐蚀水循环泵(16)所处相同的侧面连接第二氟塑料桶(19),所述第二耐腐蚀水循环泵(16)泵出口连接第八阀门(17),所述二级水洗塔(14)塔顶连接排气装置(20)。

2.根据权利要求1所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在靠近所述一级水洗塔(2)的塔底处水平设有第一双层滤板(23),在靠近所述一级水洗塔(2)的塔顶处水平设有第二双层滤板(24),所述第一双层滤板(23)、所述第二双层滤板(24)以及所述一级水洗塔(2)的内部构成第一水喷淋室(22)。

3.根据权利要求2所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在所述第一水喷淋室(22)设有两个相同且上下平行排列设置的第一喷水管(26),所述第一喷水管(26)分别与所述第二阀门(5)连接,所述第一喷水管(26)构造为三角环。

4.根据权利要求1所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在靠近所述碱洗塔(8)的塔底处水平设有第三双层滤板(83),在靠近所述碱洗塔(8) 的塔顶处水平设有第四双层滤板(84),所述第三双层滤板(83)、所述第四双层滤板(84)以及所述碱洗塔(8)的内部构成碱液喷淋室(82)。

5.根据权利要求4所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在所述碱液喷淋室(82)设有两个相同且上下平行排列设置的喷碱管(86),所述喷碱管(86)分别与所述第五阀门(11)连接,所述喷碱管(86)构造为三角环。

6.根据权利要求1所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在靠近所述二级水洗塔(14)的塔底处水平设有第五双层滤板(143),在靠近所述二级水洗塔(14)的塔顶处水平设有第六双层滤板(144),所述第五双层滤板(143)、所述第六双层滤板(144)以及所述二级水洗塔(14)的内部构成第二水喷淋室(142)。

7.根据权利要求6所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:在所述第二水喷淋室(142)设有两个相同且上下平行排列设置的第二喷水管(146),所述第二喷水管(146)分别与所述第八阀门(17)连接,所述第二喷水管(146)构造为三角环。

8.根据权利要求1所述的一种含氟尾气的处理装置,其特征在于:所述一级水洗塔(2)靠近所述放空反应器(1)一侧安装有第一泄压杆(25),所述碱洗塔(8)靠近所述第一耐腐蚀水循环泵(4)一侧安装有第二泄压杆(85),所述二级水洗塔(14)靠近所述耐碱循环泵(10)一侧安装有第三泄压杆(145)。

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