[实用新型]离子源的电源装置及离子源设备

权利要求书

1.一种离子源的电源装置，其特征在于，包括：连接阳极的阳极电源，以及连接气体分配片的气体分配片电源；

所述阳极电源向阳极提供直流电压；

所述气体分配片电源在阳极电源工作时向所述气体分配片提供额外的调节电压，用于调节所述阳极在气体分配片上产生的感应电压。

2.根据权利要求1所述的离子源的电源装置，其特征在于，在所述气体分配片上产生的感应电压过低时，所述气体分配片电源输出调节电压控制所述感应电压。

3.根据权利要求2所述的离子源的电源装置，其特征在于，所述气体分配片电源为直流电源；其中，通过所述直流电源读取流过气体分配片的电流参数，所述电流参数用于控制所述气体分配片电源输出一额外电压以控制气体分配片的感应电压。

4.根据权利要求3所述的离子源的电源装置，其特征在于，所述气体分配片电源的正极连接气体分配片，负极接地。

5.根据权利要求3所述的离子源的电源装置，其特征在于，所述气体分配片电源的负极连接气体分配片，正极连接阳极的正极。

6.根据权利要求1所述的离子源的电源装置，其特征在于，在所述气体分配片上产生的感应电压过高时，所述气体分配片电源输出调节电压降低所述感应电压。

7.根据权利要求5所述的离子源的电源装置，其特征在于，所述气体分配片电源包括连接在接地端和气体分配片之间的可调电阻；其中，通过调节可调电阻的阻值，控制气体分配片的感应电压。

8.根据权利要求6所述的离子源的电源装置，其特征在于，还包括连接在可调电阻与气体分配片之间的电流表；其中，通过所述电流表读取流过气体分配片的电流参数，所述电流参数用于为调节可调电阻提供参数参考。

9.根据权利要求1所述的离子源的电源装置，其特征在于，所述气体分配片电源输出一设定电压值的调节电压至所述气体分配片；或者，所述气体分配片电源输出一与所述阳极电源输出的直流电压成比例的调节电压至所述气体分配片。

10.一种离子源设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的离子源的电源装置。