[实用新型]聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置

权利要求书

1.一种聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置，其特征在于，包括脉冲光纤激光器(1)、准直镜(2)、X方向振镜(4)、Y方向振镜(5)、汇聚透镜(6)、视窗(7)、靶材(8)、Z方向调节机构(10)、控制器以及真空腔体(11)；脉冲光纤激光器(1)所发出的激光经过准直镜(2)后输出准直光，准直光入射到X方向振镜(4)上，经X方向振镜(4)反射入Y方向振镜(5)，再经Y方向振镜(5)反射至汇聚透镜(6)，通过汇聚透镜(6)后成为汇聚光束，汇聚光束通过真空腔体(11)上的视窗(7)导入真空腔体(11)内，通过Z方向调节机构(10)调节靶材(8)与汇聚透镜(6)在光轴方向上的相对位置，待薄膜沉积样品(9)正对靶材(8)表面，控制器与脉冲光纤激光器(1)通信，控制器输出控制信号至X方向振镜(4)、Y方向振镜(5)和Z方向调节机构(10)，使汇聚光束焦点落在靶材(8)的表面，焦点处的靶料挥发，对待薄膜沉积样品(9)进行薄膜沉积。

2.根据权利要求1所述聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置，其特征在于，所述靶材(8)、样品(9)均位于真空腔体(11)内，靶材(8)与汇聚光束呈倾斜放置，即汇聚光束斜射入靶材(8)表面。