[实用新型]一种高真空挡板阀

说明书

本实用新型提供了一种高真空挡板阀，包括阀体、设于所述阀体内的密封件、气缸与所述密封件固定连接的气缸轴，所述阀体上设置有第一开口以及第二开口，所述气缸内设有弹性件，所述弹性件一端与所述活塞相接触，另一端与气缸远离活塞的一端的内壁相接触，所述弹性件用于预紧所述密封件以封闭所述第一开口，且所述气缸还包括用于封闭所述气缸的开口的密封盖，所述密封盖位于所述活塞与所述密封件之间，所述密封盖上设有用于穿过所述气缸轴的第一通孔，所述第一通孔内安装有第一套筒，所述第一套筒与所述气缸轴贴合，且所述气缸轴可相对所述密封轴及所述第一套筒做往复运动。

技术领域

本实用新型涉及高真空阀门装置领域，尤其涉及一种高真空挡板阀。

背景技术

高真空挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。现有的挡板阀内的气缸轴使用焊接波纹管密封，在使用波纹管密封的情况下通过正压气体以带动密封件移动以及波纹管折叠收缩，气体压力多大或者反复变化时容易导致波纹管破损，导致泄漏真空或者气体，因此需要一种能取代现有的密封方式的新型密封结构的高真空挡板阀。

实用新型内容

本实用新型提供了一种高真空挡板阀，旨在解决背景技术中所提及的技术问题。

本实用新型提供了一种高真空挡板阀，包括阀体、设于所述阀体内的密封件、气缸与所述密封件固定连接的气缸轴，所述阀体上设置有第一开口以及第二开口，所述密封件用于封闭所述第一开口以隔离所述第一开口和所述第二开口，所述气缸轴穿设于所述气缸与所述阀体，所述气缸轴设于所述气缸的部分上嵌套有活塞，所述活塞、所述密封件及所述气缸轴可相对所述气缸做往复运动；

所述气缸内设有弹性件，所述弹性件一端与所述活塞相接触，另一端与气缸远离活塞的一端的内壁相接触，所述弹性件用于预紧所述密封件以封闭所述第一开口，且所述气缸还包括用于封闭所述气缸的开口的气缸密封盖，所述气缸密封盖位于所述活塞与所述密封件之间，所述气缸密封盖上设有用于穿过所述气缸轴的第一通孔，所述第一通孔内安装有套筒，所述套筒与所述气缸轴贴合，且所述气缸轴可相对所述气缸密封盖及所述套筒做往复运动。

进一步的，所述气缸内壁设有环形台阶，所述气缸密封盖外轮廓设有与所述环形台阶对应的环形挡板，通过所述环形挡板与所述环形台阶贴合以封闭所述气缸的开口。

进一步的，所述活塞上设有盲孔，所述气缸轴的一端设有与所述盲孔对应的凸起部，所述凸起部上设有第一螺纹，所述盲孔内设有与所述第一螺纹相配合的第二螺纹；所述活塞的外轮廓与所述气缸的内壁轮廓相对应。

进一步的，还包括阀门密封盖，所述阀门密封盖设于所述阀体朝向所述气缸的一端，所述阀门密封盖的一端与所述阀体贴合，另一端与所述气缸贴合，且所述阀门密封盖上设有用于穿过所述气缸轴的第二通孔，且所述气缸轴可相对所述阀门密封盖做往复运动。

进一步的，所述套筒为铜套。

进一步的，所述弹性件为弹簧。

本实用新型通过设置弹性件、气缸密封盖及套筒的组合结构，一方面通过弹性件以预紧述密封件以封闭高真空挡板阀的第一开口，另一方面通过设置气缸密封盖及套筒以隔离气缸内部与阀体内部，当所述第一开口通入正压气体后，所述密封件被带动以克服弹性件弹性力压缩气缸内空气，当输入的气体压力变小后，弹性件带动所述密封件逐渐恢复；利用弹性件、气缸密封盖及套筒的组合结构来取代波纹管，避免了波纹管在通入正压气体时往复折叠导致破损的情形。

附图说明

图1是本实用新型提供的一实施例的高真空挡板阀的整体结构示意图。

图2是图1实施例的俯视图。

图3是图2中关于剖切线A-A的剖视图。

具体实施方式